[發(fā)明專利]等離子體生成裝置及等離子體生成方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510569969.5
• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN105551923B
• 公開（公告）日: 2018-03-20
• 發(fā)明（設計）人: 今井伸一
• 申請（專利權）人: 松下知識產(chǎn)權經(jīng)營株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;A61L9/22;C02F1/30
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司72002
• 代理人: 高迪

技術領域

本發(fā)明涉及等離子體生成裝置及等離子體生成方法。

背景技術

一直以來，對于將等離子體用于液體或氣體的凈化或殺菌等的技術展開了研究。例如，在專利文獻1中公開了通過等離子體產(chǎn)生OH原子團等的活性種、利用產(chǎn)生的活性種來對微生物及細菌進行殺菌的殺菌裝置。

專利文獻1所記載的殺菌裝置具備一對電極，向該一對電極間施加2kV/cm～50kV/cm、100Hz～20kHz的負極性的高電壓脈沖而進行放電。利用放電的能量所導致的水的蒸發(fā)和伴隨著沖擊波的氣化，產(chǎn)生由水蒸氣形成的氣泡，在該氣泡中生成等離子體。

專利文獻1：特開2009-255027號公報

但是，在上述以往的殺菌裝置中，存在等離子體的生成效率低的課題。

發(fā)明內容

本發(fā)明提供一種能夠高效地生成等離子體的等離子體生成裝置及等離子體生成方法。

本發(fā)明的一個方式的等離子體生成裝置，具備：流路，供液體流動，具有形成在與所述液體接觸的內壁面的凹部或凸部，設置有將流路內部和流路外部的氣體所存在的外部空間連通的氣體導入路；送液裝置，向所述流路送出液體；第1電極及第2電極，配置在所述流路內部；電源，向所述第1電極和所述第2電極之間施加規(guī)定的電壓；以及控制電路，控制所述送液裝置及所述電源，使所述送液裝置向所述流路送出所述液體，在通過減壓空間與所述外部空間的氣壓差從所述外部空間經(jīng)由所述氣體導入路向所述流路內部的液體中導入了所述氣體，并且由所述氣體產(chǎn)生了氣泡的狀態(tài)下，使所述電源向所述第1電極和所述第2電極之間施加規(guī)定的電壓，所述減壓空間是通過所述液體在所述流路的形成有所述凹部或所述凸部的部分流動而在所述流路內部形成的。

本發(fā)明的另一方式的等離子體生成裝置，具備：流路，供液體流動，設置有將流路內部和流路外部的氣體所存在的外部空間連通的氣體導入路；送液裝置，向所述流路送出液體；第1電極及第2電極，設置于所述流路內部；電源，向所述第1電極和所述第2電極之間施加規(guī)定的電壓；控制電路，控制所述送液裝置及所述電源，使所述送液裝置送出該液體，以使所述液體在所述流路內部回旋，在通過減壓空間與所述外部空間的氣壓差而從所述外部空間經(jīng)由所述氣體導入路向所述流路內部的液體中導入了所述氣體，并且由所述氣體產(chǎn)生了氣泡的狀態(tài)下，使所述電源向所述第1電極和所述第2電極之間施加規(guī)定的電壓，所述減壓空間是通過所述液體回旋而在所述流路內部形成的。

另外，整體或具體的方式也可以通過裝置、器件、系統(tǒng)、集成電路及方法來實現(xiàn)。此外，整體或具體的方式也可以通過裝置、器件、系統(tǒng)、集成電路及方法的任意組合來實現(xiàn)。

公開的實施方式的更多效果及優(yōu)點在說明書及附圖中有詳細記載。效果及/或優(yōu)點通過說明書及附圖所公開的各種實施方式和特征來分別提供，得到這些效果及/或優(yōu)點中的一個并不需要全部實施方式和特征。

發(fā)明的效果：

根據(jù)本發(fā)明，不使用導入氣體的泵就能夠向液體中導入氣體。此外，能夠在導入的氣體內生成等離子體。

附圖說明

圖1是表示實施方式1的等離子體生成裝置的構造的圖。

圖2是表示實施方式1的第1電極的一部分及絕緣體的一部分的構造的立體圖。

圖3A是表示實施方式1的流路的形狀的另一例的圖。

圖3B是表示實施方式1的流路的形狀的另一例的圖。

圖3C是表示實施方式1的流路的形狀的另一例的圖。

圖4是表示實施方式1的等離子體生成裝置的動作的流程圖。

圖5是表示實施方式2的等離子體生成裝置的構造的圖。

圖6是表示實施方式2的第1電極的一部分及絕緣體的一部分的構造的立體圖。

符號說明：

10、110等離子體生成裝置；11液體；12氣體；13等離子體；20、20a、20b、20c流路；21、21a凹部；21b、21c、21d凸部；22減壓空間；30外部空間；40、140第1電極；41金屬電極部；42金屬保持部；50第2電極；60絕緣體；61空隙；62開口部；70、170氣體導入路；80電源；90控制電路；141中空部

具體實施方式

(本發(fā)明的概要)