[發明專利]一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統

在審

• 申請號: 201510569176.3
• 申請日: 2015-09-09
• 公開（公告）號: CN105177581A
• 公開（公告）日: 2015-12-23
• 發明（設計）人: 韋建敏;吳梅;趙興文;張曉蓓;張小波
• 申請（專利權）人: 成都虹華環保科技股份有限公司
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46
• 代理公司: 成都金英專利代理事務所(普通合伙) 51218
• 代理人: 袁英

1.一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統，其特征在于：包括蝕刻液處理系統、再生液循環系統、配液系統和氯氣回收系統，蝕刻液處理系統包括蝕刻生產線（1）、母液儲存罐（2）、電解槽和溶解吸收系統（6），電解槽包括陰極槽（3）、膜（4）和陽極槽（5），母液儲存罐（2）、陰極槽（3）、陽極槽（5）、溶解吸收系統（6）依次連通，蝕刻生產線（1）分別與母液儲存罐（2）和溶解吸收系統（6）連通，溶解吸收系統（6）與蝕刻生產線（1）連通；

氯氣回收系統包括洗氣系統（7）和尾氣處理系統（8），陽極槽（5）、洗氣系統（7）和尾氣處理系統（8）依次連通。

2.根據權利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統，其特征在于：所述的過濾膜（4）為隔膜、陽離子膜或陰離子膜。

3.根據權利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統，其特征在于：所述的陰極槽（3）通過電解得到電解銅（9）。

4.根據權利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統，其特征在于：所述的電解槽內設有離子濃度檢測裝置。

5.根據權利要求1所述的一種具有尾氣處理功能的酸性蝕刻廢液循環再生系統，其特征在于：所述的該系統內的裝置以及管道都使用耐酸、耐堿、耐腐蝕的材料制成。