[發(fā)明專利]內(nèi)嵌式觸控面板及其制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510564176.4
• 申請日: 2015-09-07
• 公開（公告）號: CN105117085B
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發(fā)明（設計）人: 黃耀立;謝劍星;黃俊宏
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司44202
• 代理人: 郝傳鑫,熊永強

技術領域

本發(fā)明涉及觸控顯示技術領域，尤其涉及一種內(nèi)嵌式觸控面板及其制造方法。

背景技術

隨著智能電子產(chǎn)品的普及，電容式觸控屏被廣泛應用于智能手機、平板電腦等各種電子產(chǎn)品中?，F(xiàn)有的電容式觸控屏分為以G+G(Glass+Glass)、G+F(Glass-Film)、GFF(Glass-Film-Film)、OGS(One Glass Solution)等技術為代表的外掛式電容屏和以On-Cell、In-Cell技術為代表的嵌入式電容屏。近年來，人們越來越注重產(chǎn)品輕薄化的用戶體驗，智能電子產(chǎn)品市場也呈現(xiàn)出OGS、On-Cell及In-Cell三種技術并爭的局面，其中，In-Cell觸控面板將觸控制程整合到顯示面板的驅動面板制程中，使其具有比OGS觸控面板及On-Cell觸控面板更輕薄、透光性更好的特點，從而能夠更好地滿足用戶的需求。因此，In-Cell觸控面板逐漸成為未來電容屏的主流應用。

請參閱圖1，其為現(xiàn)有技術中內(nèi)嵌式觸控面板的疊層結構示意圖。如圖1所示，在現(xiàn)有的In-Cell觸控面板的制造過程中，通常是利用黃光工藝(光刻工藝)將觸控面板中的公共電極層(Common電極)進行分割，并按功能定義為驅動電極Tx與感測電極Rx，如圖2所示。其中，所述驅動電極Tx呈矩陣排列，所述感測電極Rx設置于相鄰的兩列驅動電極Tx之間，并在行方向隔斷相鄰的兩個驅動電極Tx。由于設置在同一行的相鄰兩個驅動電極Tx之間被所述感測電極Rx隔斷，因此需要通過橋接的方式將相鄰的兩個驅動電極Tx電性連接。以驅動電極Tx1為例，在現(xiàn)有的In-Cell觸控面板中，同一行相鄰的驅動電極Tx1之間需要通過連接金屬M1進行橋接，所述連接金屬M1與驅動電極Tx1位于不同層，故需要采用過孔的方式實現(xiàn)連接，甚至可能用到過孔+過孔的連接結構，而這種復雜的過孔式連接結構使得現(xiàn)有的In-Cell觸控面板的制程過于復雜，從而不利于產(chǎn)品良率的提升，也無法滿足人們生產(chǎn)的要求。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于現(xiàn)有技術中存在的上述問題，本發(fā)明提供一種內(nèi)嵌式觸控面板，通過將感測電極單獨分層，使得驅動電極可以保持整體行式結構，無需通過金屬層及過孔橋接，以簡化所述內(nèi)嵌式觸控面板的整體結構，提升產(chǎn)品良率。

另，本發(fā)明還提供一種內(nèi)嵌式觸控面板的制造方法。

一種內(nèi)嵌式觸控面板，包括公共電極層、絕緣層和感測層，所述公共電極層包括多個驅動區(qū)，多個所述驅動區(qū)并列且相互間隔設置，每一所述驅動區(qū)內(nèi)均設置有驅動電極，每一所述驅動區(qū)內(nèi)包括多個獨立設置的懸浮區(qū)，每一所述懸浮區(qū)內(nèi)均設置有懸浮電極，所述絕緣層形成于所述公共電極層上，所述感測層形成于所述絕緣層上，所述感測層包括多條感測電極，所述感測電極設置于所述懸浮電極上方，在顯示階段，所述驅動電極、懸浮電極及感測電極均接入公共電壓，在觸控掃描階段，所述驅動電極用于提供驅動信號，所述感測電極接收所述驅動電極提供的驅動信號，所述懸浮電極置空，并為所述感測電極提供信號補償。

其中，所述絕緣層開設有多個第一過孔及多個第二過孔，所述第一過孔正對所述驅動電極設置，所述第二過孔正對所述懸浮電極設置，所述感測層還包括多條驅動引線及多條懸浮引線，所述驅動引線設置于所述驅動電極上方，并通過所述第一過孔與所述驅動電極電性連接，所述懸浮引線設置于所述懸浮電極上方，并通過所述第二過孔與所述懸浮電極電性連接。

其中，多個所述懸浮電極呈矩陣排列，每一列所述懸浮電極上方間隔設置兩條感測電極和一條懸浮引線，兩條感測電極在正投影方向分別位于所述懸浮電極兩側設置，且每一條所述感測電極在正投影方向上與所述驅動電極相互垂直；所述懸浮引線在正投影方向靠近所述懸浮電極的中心設置，且每一條所述懸浮引線均通過多個所述第二過孔分別與位于一列的多個所述懸浮電極電性連接。

其中，所述內(nèi)嵌式觸控面板還包括薄膜晶體管陣列、第一介質層、第二介質層和像素電極層，所述第一介質層形成于所述薄膜晶體管陣列上，所述公共電極層形成于所述第一介質層上，所述第二介質層形成于所述感測層上，并填充于多條所述感測電極、多條驅動引線及多條懸浮引線之間，所述像素電極層形成于所述第二介質層上。

其中，每一所述驅動區(qū)與多個所述獨立設置的懸浮區(qū)之間分別開設多個環(huán)形槽孔，所述環(huán)形槽孔貫穿所述公共電極層設置，且由所述絕緣層填充，以電性隔離所述驅動電極與所述懸浮電極。

一種內(nèi)嵌式觸控面板的制造方法，包括：

在陣列基板上依次形成薄膜晶體管陣列、第一介質層及公共電極層；

將所述公共電極層分割為多個驅動區(qū)和多個懸浮區(qū)，以形成多個驅動電極及多個懸浮電極；