[發(fā)明專利]玻璃基板的制造方法及玻璃基板的制造裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510549374.3 | 申請日： | 2015-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN105384354B | 公開（公告）日： | 2018-05-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 伊崎靖浩 | 申請（專利權(quán)）人： | 安瀚視特控股株式會(huì)社 |
| 主分類號： | C03C15/00 | 分類號： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287 | 代理人： | 林斯凱 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 玻璃基板 清洗液 去除 清洗 黑色矩陣 清洗單元 制造裝置 沖洗液 制造 沖洗 清潔劑 清洗劑 表面活性材料 表面形成 濾色片 無機(jī)堿 樹脂 剝落 附著 | ||
1.一種玻璃基板的制造方法，其特征在于：其是表面形成黑色矩陣樹脂的濾色片用玻璃基板的制造方法，并且具備如下步驟：
清洗步驟，對所述玻璃基板供給包含添加有表面活性材料的無機(jī)堿系清洗劑的清洗液并進(jìn)行清洗，
沖洗步驟，使沖洗液滲透到在所述清洗步驟中附著在所述玻璃基板表面的清洗液中，及
去除步驟，在所述沖洗步驟前，使所述玻璃基板通入設(shè)置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接觸所述玻璃基板的第1夾輥，而去除所述清洗步驟中附著在所述玻璃基板表面的所述清洗液，并且，使所述玻璃基板通入設(shè)置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接觸所述玻璃基板的第2夾輥，而去除在所述沖洗步驟中滲透有所述沖洗液的所述清洗液，
在所述去除步驟中，以來自附著在所述玻璃基板的所述表面活性劑的有機(jī)物的附著量成為每1cm
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：
關(guān)于所述去除步驟，在將所述玻璃基板分別通入所述第1夾輥以及所述第2夾輥前后的步驟中的至少后一步驟中，為了防止所述清洗液干燥而對所述玻璃基板的表面供給液體。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：
關(guān)于所述去除步驟，
將清洗過所述玻璃基板的所述清洗液回收，并測定所回收的清洗液的濃度，
測得的所述清洗液的濃度越低，越增強(qiáng)將所述第1夾輥壓抵在所述表面的力。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：
關(guān)于所述去除步驟，
測定在利用所述第2夾輥去除所述清洗液前供給到所述玻璃基板且與所述清洗液同時(shí)被回收的液體的導(dǎo)電率，
回收的所述液體的導(dǎo)電率越高，越增強(qiáng)將所述第2夾輥壓抵在所述表面的力。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于：
供給所述沖洗液的噴淋單元是使相對于即將進(jìn)行所述沖洗步驟前的清洗液的溫度而溫度差為0℃以上且5℃以下的沖洗液在所述沖洗步驟的初期滲透而去除。
6.一種玻璃基板的制造裝置，其特征在于：其是表面形成黑色矩陣樹脂的濾色片用玻璃基板的制造裝置，并且具備如下裝置：
清洗裝置，其對所述玻璃基板供給包含添加有表面活性材料的無機(jī)堿系清洗劑的清洗液并進(jìn)行清洗，
沖洗裝置，其使沖洗液滲透到附著在所述玻璃基板表面的清洗液中，及
去除裝置，其在使所述沖洗液滲透前，使所述玻璃基板通入設(shè)置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接觸所述玻璃基板的第1夾輥，而去除通過所述清洗裝置而附著在所述玻璃基板表面的所述清洗液，并且，使所述玻璃基板通入設(shè)置在所述玻璃基板的一端跨至另一端且接觸所述玻璃基板的第2夾輥，而去除滲透有所述沖洗液的所述清洗液，
在所述去除裝置中，以來自附著在所述玻璃基板的所述表面活性劑的有機(jī)物的附著量成為每1cm
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