[發(fā)明專利]一種用于ITO膜刻蝕的工藝有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201510539374.5 | 申請(qǐng)日： | 2014-04-30 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN105087009B | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-06-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 全策;全振 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東莞市鉅升金屬科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C09K13/00 | 分類號(hào)： | C09K13/00 |
| 代理公司： | 北京國(guó)坤專利代理事務(wù)所(普通合伙)11491 | 代理人： | 姜彥 |
| 地址： | 523430 廣東*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 ito 刻蝕 工藝 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于ITO膜刻蝕的工藝，包括如下操作：
向表面為ITO膜構(gòu)成的板材表面均勻涂覆一層感光膠膜，將涂好感光膠膜的板材烘干冷卻至室溫，然后對(duì)板材進(jìn)行曝光和顯影處理，最后利用刻蝕液對(duì)板材進(jìn)行刻蝕處理，蝕刻結(jié)束后，進(jìn)行清洗和干燥；
刻蝕液組成為：2重量份的1,2-乙二磺酸，0.4重量份的三氟甲基磺酸，2.8重量份的亞乙基二胺四甲叉膦酸鈉，6重量份的草酸，88.8重量份的蒸餾水。
2.如權(quán)利要求1所述的用于ITO膜刻蝕的工藝，其特征在于：板材的基材為玻璃板或PET板。
3.如權(quán)利要求1所述的用于ITO膜刻蝕的工藝，其特征在于：刻蝕處理的溫度為23～25℃。
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