[發(fā)明專利]一種實(shí)現(xiàn)干涉測量快速聚焦的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510535897.2
• 申請日: 2015-08-27
• 公開（公告）號: CN105158892B
• 公開（公告）日: 2017-09-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏勇;孫焱群;唐壽鴻
• 申請（專利權(quán)）人: 鎮(zhèn)江超納儀器有限公司（中外合資）
• 主分類號: G02B21/36
• 分類號: G02B21/36;G02B21/24;G02B7/36
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙)32204
• 代理人: 張弛

1.一種實(shí)現(xiàn)干涉測量快速聚焦的方法，其特征在于：

提供光學(xué)干涉顯微鏡；設(shè)置被測表面圖像的橫向坐標(biāo)為x,y坐標(biāo)，光學(xué)干涉顯微鏡靠近或者遠(yuǎn)離被測表面圖像的坐標(biāo)為z坐標(biāo)；

干涉顯微鏡在Z方向上掃描獲取圖像；

找到灰度差和最大的那幅圖像，該圖像對應(yīng)的位置就是聚焦位置，并通過下式聚焦評價函數(shù)計(jì)算灰度差和F(k)，

F(k)=ΣxMΣyN|g(k)(x,y)-g(k+1)(x,y)|]]>

其中，設(shè)第k幅圖像中某點(diǎn)(x,y)處的灰度值為g_(k)(x,y)，圖像為M×N個像素；評價值最大的圖所在位置就是該圖像掃描過程中尋找的聚焦位置。

2.如權(quán)利要求1所述的實(shí)現(xiàn)干涉測量快速聚焦的方法，其特征在于：包括尋找兩次聚焦位置，具體步驟為：

(1)、初始化光學(xué)干涉顯微鏡的電機(jī)，使電機(jī)移動到系統(tǒng)默認(rèn)位置O1；

(2)、設(shè)置拍攝步長S1，電機(jī)向下移動距離L1，并在電機(jī)移動過程中采集存儲圖像；

(3)、使用聚焦評價函數(shù)計(jì)算每一幅圖像的評價值，評價值最大的圖所在位置就是第一次聚焦位置O2；

(4)、電機(jī)移動到第一次聚焦位置O2，修改拍攝步長S2，使S2<S1，電機(jī)向下移動距離L2，使L2<L1，并在電機(jī)移動過程中采集存儲圖像；

(5)、使用聚焦評價函數(shù)計(jì)算移動距離L2中過程每一幅圖像的評價值，判斷第二次聚焦位置O3；

(6)、電機(jī)移動到O3，聚焦過程結(jié)束。