[發明專利]薄膜晶體管陣列基板及其制備方法、液晶面板

在審

• 申請號: 201510475246.9
• 申請日: 2015-08-06
• 公開（公告）號: CN105161542A
• 公開（公告）日: 2015-12-16
• 發明（設計）人: 武岳;李珊;雍瑋娜
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L21/336;H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1368
• 代理公司: 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰;黃進

1.一種薄膜晶體管陣列基板，包括陣列設置于一玻璃基板上的多個薄膜晶體管，每一薄膜晶體管包括：形成于所述玻璃基板上的柵電極、覆設于所述柵電極上的柵極絕緣層、形成于所述柵極絕緣層上的有源層以及形成于所述有源層上的源電極和漏電極，其中，所述源電極和漏電極在第一方向上相互間隔，所述有源層對應于所述源電極和漏電極相互間隔的區域為溝道區；其特征在于，所述柵極絕緣層朝向所述有源層的一面，至少對應于所述溝道區的部分具有多個凸起結構，形成具有多個溝槽的褶皺表面；所述有源層朝向所述柵極絕緣層的一面與所述柵極絕緣層的表面完全齒合。

2.根據權利要求1所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述多個凸起結構中，每一凸起結構沿所述第一方向延伸；所述多個凸起結構沿與第一方向垂直的第二方向依次排列。

3.根據權利要求2所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述凸起結構沿所述第一方向延伸呈直線狀或曲線狀。

4.根據權利要求3所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述凸起結構在第二方向上的截面呈半圓形或近似于半圓形。

5.根據權利要求4所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述多個凸起結構沿所述第二方向等間距排列，所述具有多個溝槽的褶皺表面在第二方向上的截面呈波浪狀結構。

6.根據權利要求3所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述凸起結構在第二方向上的截面呈三角形。

7.根據權利要求6所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，所述多個凸起結構沿所述第二方向等間距排列，所述具有多個溝槽的褶皺表面在第二方向上的截面呈鋸齒狀結構。

8.根據權利要求1-7任一所述的薄膜晶體管陣列基板，其特征在于，該陣列基板還包括形成于所述玻璃基板上的掃描線和數據線以及由掃描線和數據線交叉限定的像素區域；所述薄膜晶體管位于所述像素區域中，所述像素區域還設置有像素電極，所述像素電極與所述薄膜晶體管的源電極或漏電極電性連接。

9.一種如權利要求1-8任一所述的薄膜晶體管陣列基板的制備方法，其特征在于，包括步驟：

S101、提供一玻璃基板并在該玻璃基板上制備柵電極；

S102、在所述柵電極上制備柵極絕緣層；其中，所述柵極絕緣層至少覆蓋所述柵電極；

S103、在所述柵極絕緣層的上表面通過壓印工藝或刻蝕工藝多個凸起結構，獲得具有多個溝槽的褶皺表面；

S104、在所述柵極絕緣層的上制備有源層，所述有源層朝向所述柵極絕緣層的一面與所述柵極絕緣層的表面完全齒合；

S105、在所述有源層上制備源電極和漏電極。

10.一種液晶面板，包括相對設置的陣列基板和濾光基板以及位于陣列基板和濾光基板之間的液晶層，其特征在于，所述陣列基板為權利要求1-8任一所述的薄膜晶體管陣列基板。