[發明專利]感測器與感測器的制作方法

在審

• 申請號: 201510470233.2
• 申請日: 2015-08-04
• 公開（公告）號: CN105070730A
• 公開（公告）日: 2015-11-18
• 發明（設計）人: 鄭造時;陳盈憲;徐文斌
• 申請（專利權）人: 友達光電股份有限公司
• 主分類號: H01L27/144
• 分類號: H01L27/144;H01L21/82
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 梁揮;常大軍

1.一種感測器的制作方法，其特征在于，包括：

于一基板上形成一主動元件；

于該基板上形成一第一絕緣層以覆蓋該主動元件，其中該第一絕緣層形成有一第一開口以局部暴露出該主動元件；

于該第一絕緣層上使用一導電材料形成一毯覆式導電層，其中該毯覆式導電層經由該第一開口連接該主動元件；

于該毯覆式導電層上形成一光電轉換材料層；

于該光電轉換材料層上形成一第一光阻圖案，并以該第一光阻圖案為掩膜，將該光電轉換材料層圖案化成一光電轉換單元；以及

圖案化該毯覆式導電層以形成一第一電極，其中該第一電極配置于該第一開口中并將該光電轉換單元電性連接至該主動元件。

2.根據權利要求1所述的感測器的制作方法，其特征在于，形成該第一電極的方法包括：在該光電轉換材料層圖案化成該光電轉換單元之后，繼續以該第一光阻圖案為掩膜將該毯覆式導電層圖案化成該第一電極。

3.根據權利要求1所述的感測器的制作方法，其特征在于，更包含形成一第二光阻圖案于該光電轉換單元上，并且以該第二光阻圖案為掩膜圖案化該毯覆式導電層以形成該第一電極。

4.根據權利要求3所述的感測器的制作方法，其特征在于，該第二光阻圖案覆蓋該光電轉換單元，且以該第二光阻圖案為掩膜圖案化成的該第一電極包括彼此相連的一凸出部以及一接觸部，該接觸部接觸該光電轉換單元，且該凸出部由該接觸部向外凸出而不接觸該光電轉換單元。

5.根據權利要求1所述的感測器的制作方法，其特征在于，該主動元件包括一柵極、一源極、一漏極與一通道層，該柵極與該通道層在該基板的厚度方向上彼此堆疊，該源極與該漏極分別接觸該通道層，該源極與該漏極彼此分隔以定義出該通道區，該第一開口暴露出該漏極，該第一電極通過該第一開口連接至該漏極。

6.根據權利要求5所述的感測器的制作方法，其特征在于，更包括形成一遮光層，該遮光層電性連接至該源極，且該遮光層的面積遮擋住該主動元件的通道區。

7.根據權利要求6所述的感測器的制作方法，其特征在于，更包含形成一第二光阻圖案，該第二光阻圖案包括位于該光電轉換單元上的一第一圖案區以及位于該主動元件上的一第二圖案區，其中該圖案化該毯覆式導電層的方法包括以該第一圖案區以及該第二圖案區為掩膜，將該毯覆式導電層圖案化以分別形成該第一電極與該遮光層。

8.根據權利要求5所述的感測器的制作方法，其特征在于，圖案化該毯覆式導電層的步驟同時形成該第一電極以及一遮光層，且該遮光層電性連接至該源極。

9.根據權利要求5所述的感測器的制作方法，其特征在于，更包括：

于該第一絕緣層中形成一第二開口，該第二開口暴露出該源極；

形成一第二絕緣層，覆蓋該主動元件與該光電轉換單元，其中該第二絕緣層具有一第三開口，該第三開口至少暴露出該第二開口所暴露的該源極的一部分；以及

形成一遮光層于該第二絕緣層上，該遮光層覆蓋該第三開口以電性連接至該源極。

10.根據權利要求5所述的感測器的制作方法，其特征在于，更包括形成一遮光層，其中該遮光層的面積遮擋住該主動元件的通道區。

11.根據權利要求1所述的感測器的制作方法，其特征在于，更包括：

形成一第二絕緣層，覆蓋該主動元件與該光電轉換單元：以及

形成一第二電極于該第二絕緣層上，其中該第二電極電性連接該光電轉換單元。

12.一種感測器，其特征在于，包括：

一主動元件，配置于一基板上；

一第一絕緣層，配置于該基板上，并具有一第一開口，以局部暴露出該主動元件；

一第一電極，覆蓋該第一開口，其中該第一電極配置于該第一絕緣層上并填入該第一開口中，且該第一電極的面積大于該第一開口的面積；

一光電轉換單元，配置于該第一電極上，且電性連接至該第一電極；以及

一遮光層，配置于該主動元件上方。

13.根據權利要求12所述的感測器，其特征在于，該主動元件包括一柵極、一源極、一漏極與一通道層，該柵極與該通道層在該基板的厚度方向上彼此堆疊，該源極與該漏極分別接觸該通道層，該源極與該漏極彼此分隔以定義出該通道區，且該第一電極通過該第一開口連接至該漏極。