[發明專利]濾波器和雙工器

有效

• 申請號: 201510440980.1
• 申請日: 2015-07-24
• 公開（公告）號: CN105281701B
• 公開（公告）日: 2018-04-03
• 發明（設計）人: 西原時弘;橫山剛;坂下武;谷口真司
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H03H9/15
• 分類號: H03H9/15
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司11127
• 代理人: 王小東

1.一種濾波器，該濾波器包括：

多個壓電薄膜共振器，每個所述壓電薄膜共振器包括：基板；壓電膜，該壓電膜位于所述基板上；下電極和上電極，該下電極和上電極在所述壓電膜的至少一部分的兩側彼此面對；以及插入膜，該插入膜插入所述壓電膜中，具有比所述壓電膜的楊氏模量小的楊氏模量，位于共振區域內的外周區域的至少一部分中，并且不位于所述共振區域的中心區域中，所述共振區域是這樣的區域，在該區域中所述下電極和所述上電極在所述壓電膜的兩側彼此面對，

其中，所述壓電薄膜共振器包括至少一個串聯共振器和至少一個并聯共振器，所述至少一個串聯共振器串聯連接在輸入端子與輸出端子之間，所述至少一個并聯共振器并聯連接在所述輸入端子與所述輸出端子之間；

其中，所述至少一個串聯共振器中的至少兩個串聯共振器具有的所述共振區域內的所述插入膜的寬度不同，和/或所述至少一個并聯共振器中的至少兩個并聯共振器具有的所述共振區域內的所述插入膜的寬度不同。

2.根據權利要求1所述的濾波器，其中，

在所述至少一個串聯共振器中的所述至少兩個串聯共振器中，有效機電耦合系數的最大值與最小值之間的差為1％或更大，或/和在所述至少一個并聯共振器中的所述至少兩個并聯共振器中，有效機電耦合系數的最大值與最小值之間的差為1％或更大。

3.根據權利要求1或2所述的濾波器，其中，

所述至少一個串聯共振器中的所述至少兩個串聯共振器具有不同的共振頻率，或/和所述至少一個并聯共振器中的所述至少兩個并聯共振器具有不同的共振頻率。

4.根據權利要求1或2所述的濾波器，其中，

所述壓電膜主要由氮化鋁組成，

所述插入膜主要由Al、Au、Ti、Pt、Ta、Cr以及氧化硅中的至少一種組成，

氣隙形成在所述基板和與所述下電極或所述共振區域中的所述下電極接觸的絕緣膜之間，或者反射穿過所述壓電膜傳播的聲波的聲反射鏡形成在所述共振區域中的所述下電極之下。

5.根據權利要求4所述的濾波器，其中，

所述壓電膜包括增大所述壓電膜的壓電常數的元素。

6.根據權利要求4所述的濾波器，其中，

所述插入膜主要由Al、Au、Ti、Pt、Ta以及Cr中的至少一種組成。

7.一種雙工器，該雙工器包括：

發送濾波器；以及

接收濾波器，其中，

所述發送濾波器和所述接收濾波器中的至少一個是根據權利要求1或2所述的濾波器。