[發(fā)明專利]反應(yīng)腔室及半導(dǎo)體加工設(shè)備在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510367794.X | 申請日： | 2015-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN106298422A | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張彥召;陳鵬 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11112 | 代理人： | 彭瑞欣,張?zhí)焓?/td> |
| 地址： | 100176 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 反應(yīng) 半導(dǎo)體 加工 設(shè)備 | ||
【說明書】：
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- 傳感設(shè)備、檢索設(shè)備和中繼設(shè)備
- 簽名設(shè)備、檢驗(yàn)設(shè)備、驗(yàn)證設(shè)備、加密設(shè)備及解密設(shè)備
- 色彩調(diào)整設(shè)備、顯示設(shè)備、打印設(shè)備、圖像處理設(shè)備
- 驅(qū)動設(shè)備、定影設(shè)備和成像設(shè)備
- 發(fā)送設(shè)備、中繼設(shè)備和接收設(shè)備
- 定點(diǎn)設(shè)備、接口設(shè)備和顯示設(shè)備
- 傳輸設(shè)備、DP源設(shè)備、接收設(shè)備以及DP接受設(shè)備
- 設(shè)備綁定方法、設(shè)備、終端設(shè)備以及網(wǎng)絡(luò)側(cè)設(shè)備
- 設(shè)備、主設(shè)備及從設(shè)備
- 設(shè)備向設(shè)備轉(zhuǎn)發(fā)
