[發(fā)明專利]嵌入式封裝裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201510341381.4 | 申請日: | 2015-06-18 |
| 公開(公告)號: | CN105529317B | 公開(公告)日: | 2018-06-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 李芃昕;蔡欣昌;李嘉炎 | 申請(專利權(quán))人: | 臺達(dá)電子工業(yè)股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/495 | 分類號: | H01L23/495;H01L23/498;H01L23/367;H01L25/00 |
| 代理公司: | 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;趙根喜 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體元件 導(dǎo)線架 無源元件 嵌入式封裝 沉孔 導(dǎo)體元件 電性連接 介電層 上表面 電層 覆蓋 | ||
一種嵌入式封裝裝置,包括導(dǎo)線架、第一半導(dǎo)體元件、第二半導(dǎo)體元件、無源元件以及第一介電層。導(dǎo)線架形成有沉孔。第一半導(dǎo)體元件及第二半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架上,并透過導(dǎo)線架相互電性連接。第二半導(dǎo)體元件與第一半導(dǎo)體元件具有不同厚度,且第一半導(dǎo)體元件或第二半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架的沉孔內(nèi),使得第二半導(dǎo)體元件及第一半導(dǎo)體元件的上表面具有相同高度。無源元件設(shè)置于導(dǎo)線架上。第一介電層形成于導(dǎo)線架上,且覆蓋第一半導(dǎo)體元件、第二半導(dǎo)體元件及無源元件。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明關(guān)于一種嵌入式封裝裝置;特別關(guān)于一種嵌入式封裝裝置,包括至少兩個具有不同厚度的電子元件。
背景技術(shù)
嵌入式電子封裝技術(shù)(embedded electronic packaging technologies)可降低裝置的尺寸及成本,且對于各式電子產(chǎn)品皆具有高整合能力,因此發(fā)展相當(dāng)快速。
然而,對現(xiàn)有的嵌入式封裝技術(shù)而言,封裝多個具有不同厚度的電子元件仍為一挑戰(zhàn)。舉例來說,為了覆蓋及電性隔離該些具有不同厚度的電子元件,需要提供具有較大厚度的介電層(dielectric layer),如此將妨礙嵌入式封裝裝置的微型化。此外,由于該些電子元件具有不同厚度,因而亦導(dǎo)致嵌入式封裝裝置的內(nèi)部線路層(internal wiringlayer)的制作變得復(fù)雜。再者,傳統(tǒng)嵌入式封裝裝置的熱量逸散能力亦不佳。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于前述現(xiàn)有問題點,本發(fā)明一實施例中提供一種嵌入式封裝裝置,包括一導(dǎo)線架、一第一半導(dǎo)體元件、一第二半導(dǎo)體元件、一無源元件、一第一介電層、多個第一導(dǎo)電柱以及一第一導(dǎo)電膜。第一半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架上。第二半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架上,且電性連接第一半導(dǎo)體元件。無源元件設(shè)置于導(dǎo)線架上,且電性連接第一半導(dǎo)體元件及第二半導(dǎo)體元件。第一介電層形成于導(dǎo)線架上,且覆蓋第一半導(dǎo)體元件、第二半導(dǎo)體元件及無源元件。多個第一導(dǎo)電柱形成于第一介電層中。第一導(dǎo)電膜形成于第一介電層上,且透過該些第一導(dǎo)電柱電性連接第二半導(dǎo)體元件及導(dǎo)線架的至少其中之一。其中,第一半導(dǎo)體元件及第二半導(dǎo)體元件的至少其中之一以覆晶方式安裝于導(dǎo)線架上。
本發(fā)明另一實施例中提供一種嵌入式封裝裝置,包括一導(dǎo)線架、一第一半導(dǎo)體元件、一第二半導(dǎo)體元件、一無源元件以及一第一介電層。導(dǎo)線架形成有一沉孔。第一半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架上。第二半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架上,且透過導(dǎo)線架電性連接第一半導(dǎo)體元件。其中,第二半導(dǎo)體元件及第一半導(dǎo)體元件具有不同厚度,且第一半導(dǎo)體元件或第二半導(dǎo)體元件設(shè)置于導(dǎo)線架的沉孔內(nèi),使得第二半導(dǎo)體元件及第一半導(dǎo)體元件的上表面具有相同高度。無源元件設(shè)置于導(dǎo)線架上。第一介電層形成于導(dǎo)線架上,且覆蓋第一半導(dǎo)體元件、第二半導(dǎo)體元件及無源元件。
本發(fā)明另一實施例中提供一種嵌入式封裝裝置,包括一導(dǎo)線架、一高電壓開關(guān)、一低電壓開關(guān)、一無源元件、一第一介電層、多個第一導(dǎo)電柱以及一第一導(dǎo)電膜。導(dǎo)線架具有一第一部分、一第二部分、一第三部分及一第四部分。高電壓開關(guān)設(shè)置于導(dǎo)線架上,且具有與導(dǎo)線架的第一部分電性連接的一第一漏極接墊、與導(dǎo)線架的第二部分電性連接的一第一柵極接墊及與導(dǎo)線架的第三部分電性連接的一第一源極接墊。低電壓開關(guān)設(shè)置于導(dǎo)線架上,且具有與導(dǎo)線架的第三部分電性連接的一第二漏極接墊、與導(dǎo)線架的第四部分電性連接的一第二柵極接墊及與導(dǎo)線架的第二部分電性連接的一第二源極接墊。無源元件設(shè)置于導(dǎo)線架上,且具有與導(dǎo)線架的第二部分電性連接的一第一端子及與導(dǎo)線架的第三部分電性連接的一第二端子。第一介電層形成于導(dǎo)線架上,且覆蓋高電壓開關(guān)、低電壓開關(guān)及無源元件。多個第一導(dǎo)電柱形成于第一介電層中。第一導(dǎo)電膜形成于第一介電層上,且透過該些第一導(dǎo)電柱電性連接低電壓開關(guān)及導(dǎo)線架。
為讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、和優(yōu)點能更明顯易懂,下文特舉出較佳實施例,并配合所附附圖,作詳細(xì)說明如下。
附圖說明
圖1表示根據(jù)本發(fā)明一實施例的嵌入式封裝裝置的爆炸圖。
圖2表示圖1中的導(dǎo)線架、第一半導(dǎo)體元件、第二半導(dǎo)體元件及無源元件的放大圖。
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