[發明專利]涂敷方法、涂敷裝置、制造方法及制造裝置

在審

• 申請號: 201510332574.3
• 申請日: 2015-06-16
• 公開（公告）號: CN105289948A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 藤原五男;高本德男;永田義壽;中川優志;早野一臣;小川康一
• 申請（專利權）人: 平田機工株式會社;迪睿合電子材料有限公司
• 主分類號: B05D1/26
• 分類號: B05D1/26;B05C5/02;B05C11/02;B32B37/02;B32B38/16;B32B37/10
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 李成海

1.一種涂敷方法，是將液狀的光硬化性樹脂涂敷在面板的表面上的涂敷方法，其特征在于，

在上述面板的上述表面的周邊緣部形成了表面高度的臺階，

上述涂敷方法，包含：

以具備可輸出光硬化性樹脂的狹縫狀的噴嘴的涂敷頭在上述面板的上述表面上相對地移動的方式，使上述涂敷頭或者上述面板的一方移動的移動工序；和

在上述移動工序中，從上述噴嘴將上述光硬化性樹脂向上述面板的上述表面上輸出的涂敷工序，

在上述涂敷工序中，

在上述面板的上述表面的上述表面高度的臺階中，控制上述光硬化性樹脂的膜厚，以便在上述光硬化性樹脂的液膜表面上不產生表面高度的臺階。

2.根據權利要求1記載的涂敷方法，其特征在于，

在上述涂敷工序中，由上述光硬化性樹脂的輸出液量控制上述膜厚。

3.根據權利要求1記載的涂敷方法，其特征在于，

在上述涂敷工序中，由上述涂敷頭或者上述面板的移動速度控制上述膜厚。

4.根據權利要求1記載的涂敷方法，其特征在于，

在上述涂敷工序中，由從上述面板的上述表面起的上述噴嘴的高度控制上述膜厚。

5.根據權利要求1記載的涂敷方法，其特征在于，

在上述涂敷工序中，由

上述光硬化性樹脂的輸出液量；

上述涂敷頭或者上述面板的移動速度；

從上述面板的上述表面起的上述噴嘴的高度

的至少任何2個控制上述膜厚。

6.根據權利要求1記載的涂敷方法，其特征在于，

上述面板具備具有光透過性的主體和形成在上述主體的表面周緣的遮光層，上述面板的上述表面的上述表面高度的臺階，由形成了上述遮光層的部分和沒有形成上述遮光層的部分的分界形成，

上述光硬化性樹脂，是具有光透過性的光透過性樹脂。

7.根據權利要求6記載的涂敷方法，其特征在于，

上述面板是方形，

上述噴嘴，與上述面板的相向的一對邊平行地配置，

在上述移動工序中，在與上述一對邊正交的方向，使上述涂敷頭或者上述面板的一方移動，

在上述涂敷工序中，

在沿上述一對邊形成的上述遮光層上，以上述光硬化性樹脂的膜厚相對地變薄的方式進行控制，

在沿上述一對邊形成的上述遮光層之間，以上述光硬化性樹脂的膜厚相對地變厚的方式進行控制。

8.一種涂敷裝置，是將液狀的光硬化性樹脂涂敷在面板的表面上的涂敷裝置，其特征在于，具備：

具備可輸出光硬化性樹脂的狹縫狀的噴嘴的涂敷頭；

以在上述面板的上述表面上相對地移動的方式使上述涂敷頭及上述面板的至少一方移動的移動機構；和

控制上述涂敷頭和上述移動機構的控制單元，

在上述面板的上述表面的周邊緣部形成了臺階，

上述控制單元，執行

由上述移動機構使上述涂敷頭及上述面板的至少一方移動的移動控制；和

在上述移動控制中，從上述噴嘴將上述光硬化性樹脂向上述面板的上述表面上輸出的涂敷控制，

在上述涂敷控制中，以在上述面板的上述表面高度的臺階中，在上述光硬化性樹脂的液膜表面上不產生表面高度的臺階的方式控制上述光硬化性樹脂的膜厚。

9.根據權利要求8記載的涂敷裝置，其特征在于，

在上述涂敷控制中，由上述光硬化性樹脂的輸出液量控制上述膜厚。

10.根據權利要求8記載的涂敷裝置，其特征在于，

在上述涂敷控制中，由上述涂敷頭或者上述面板的移動速度控制上述膜厚。

11.根據權利要求8記載的涂敷裝置，其特征在于，

在上述涂敷控制中，由從上述面板的上述表面起的上述噴嘴的高度控制上述膜厚。

12.根據權利要求8記載的涂敷裝置，其特征在于，

在上述涂敷控制中，由

上述光硬化性樹脂的輸出液量；

上述涂敷頭或者上述面板的移動速度；

從上述面板的上述表面起的上述噴嘴的高度

的至少任何2個控制上述膜厚。