[發(fā)明專利]一種平面研磨機(jī)的研磨工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510275032.7
• 申請(qǐng)日: 2015-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN105014524B
• 公開（公告）日: 2017-09-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋哲;馬忠東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州德銳朗智能科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/04
• 分類號(hào): B24B37/04
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司32200
• 代理人: 許方

1.一種平面研磨機(jī)的研磨工藝，其特征在于：首先，在平面研磨機(jī)的控制面板上設(shè)置齒圈參數(shù)、上盤參數(shù)，所述齒圈參數(shù)包括步進(jìn)位移、下降極限、上升極限、加工極限，所述上盤參數(shù)包括稱重判定時(shí)間、浮動(dòng)等待時(shí)間、加壓浮動(dòng)時(shí)間、測(cè)厚濾波時(shí)間、防粘盤拉起值，設(shè)定研磨機(jī)的比例閥初值，然后，根據(jù)設(shè)定的工藝過程對(duì)工件進(jìn)行研磨，所述工藝過程的具體步驟如下：

步驟1、對(duì)上盤進(jìn)行清洗；

步驟2、判斷上盤是否清洗完成，如果清洗完成，執(zhí)行步驟3、否則，重復(fù)執(zhí)行步驟1；

步驟3、拉起上盤，等待上盤穩(wěn)定后，對(duì)上盤進(jìn)行稱重，并記載上盤重量；

步驟4、判定是否為維護(hù)模式，如果是，進(jìn)入維護(hù)模式，否則，執(zhí)行步驟5；

步驟5、判斷工件是否擺放完成，如果擺放完成，執(zhí)行步驟6，否則，上盤一直處于鎖定懸掛狀態(tài)，直至工件擺放完成，執(zhí)行步驟6；

步驟6、控制上盤分三段速度勻速下降，三段速度從上至下依次減小，當(dāng)上盤接觸到工件表面的時(shí)候，停止，點(diǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)齒圈，判斷上盤是否與工件完全接觸，如果完全接觸，執(zhí)行步驟7，否則，抬起上盤，返回執(zhí)行步驟6；

步驟7、等待加壓浮動(dòng)時(shí)間到，對(duì)上盤勻速加壓，加壓的壓力值根據(jù)比例閥初值及初始?jí)毫τ?jì)算，直至壓力值達(dá)到預(yù)先設(shè)定的壓力值，啟動(dòng)上盤旋轉(zhuǎn)，到達(dá)預(yù)先設(shè)定的旋轉(zhuǎn)時(shí)間，停止，執(zhí)行步驟8；

步驟8、執(zhí)行測(cè)厚過程，對(duì)研磨的工件進(jìn)行測(cè)厚，并判斷工件厚度是否達(dá)到預(yù)先設(shè)定的厚度值，如果達(dá)到預(yù)先設(shè)定的厚度值，執(zhí)行步驟9，否則，返回執(zhí)行步驟7；

步驟9、根據(jù)防粘盤拉起值拉起上盤，直至上盤掛起鎖死，工件研磨完成。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的研磨工藝，其特征在于：所述步進(jìn)位移為每次洗盤后外齒輪嚙合高度改變量，為時(shí)間當(dāng)量值，所述下降極限為外齒輪下降的最低高度，所述上升極限為外齒輪上升的最高高度，所述加工極限為外齒輪最低可嚙合游輪的高度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的平面研磨機(jī)的研磨工藝，其特征在于：所述下降極限、上升極限、加工極限的值均為小于0.1mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面研磨機(jī)的研磨工藝，其特征在于：所述稱重判定時(shí)間為開始稱重到穩(wěn)定讀數(shù)時(shí)間，浮動(dòng)等待時(shí)間為工序執(zhí)行完后到自動(dòng)拉起上盤所需的等待時(shí)間,比例閥初始值為決定上盤緩降及初始?jí)毫Υ笮〉闹担訅焊?dòng)時(shí)間為上盤緩降開始且運(yùn)轉(zhuǎn)后到執(zhí)行加壓程序的等待時(shí)間，測(cè)厚濾波時(shí)間為測(cè)厚到達(dá)后確認(rèn)時(shí)間，防粘盤拉起值為工序執(zhí)行完后,自動(dòng)拉起上盤所需的DA量值。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平面研磨機(jī)的研磨工藝，其特征在于：所述加壓浮動(dòng)過程包括標(biāo)志位，當(dāng)標(biāo)志為等于1時(shí)開始加壓。