[發(fā)明專利]電子器件、電子設備和移動體

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510272020.9
• 申請日: 2015-05-25
• 公開（公告）號: CN105322908B
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設計）人: 山崎隆;石井昌宏
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/10
• 分類號: H03H9/10;H03H9/215
• 代理公司: 11127 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司
• 代理人: 李輝;黃綸偉

1.一種電子器件，其特征在于，

該電子器件由層疊基板構成，該層疊基板具有由包含單晶硅的材料構成的第一層和第二層，并且是將所述第一層和所述第二層經(jīng)由中間層接合而成的，

該電子器件具有：

振動片，其由所述第二層形成，具備基部和振動臂，其中該振動臂從所述基部延伸；以及

基礎部，其由所述第一層形成，支承所述振動片，并且具有沿著所述單晶硅的晶體方位＜110＞的邊，

所述基礎部包含凹部和框體，其中該凹部具有在俯視時與所述振動臂重疊的區(qū)域，該框體在俯視時包圍所述凹部，

所述框體與所述基部連接，并且與所述振動片一體地形成，

所述框體具有沿著所述基礎部的所述邊延伸的方向的長邊部，

所述振動臂延伸的方向沿著所述單晶硅的晶體方位＜100＞，在俯視時，所述長邊部延伸的方向與所述振動臂延伸的方向相交。

2.根據(jù)權利要求1所述的電子器件，其中，

所述振動臂的一個端部經(jīng)由所述基部被支承于所述基礎部。

3.根據(jù)權利要求1所述的電子器件，其中，

所述振動臂沿其厚度方向彎曲振動。

4.根據(jù)權利要求1所述的電子器件，其中，

所述振動片具有3條所述振動臂。

5.根據(jù)權利要求1所述的電子器件，其中，

所述電子器件具有端子部，在俯視時，所述端子部與所述振動片并排。

6.根據(jù)權利要求1所述的電子器件，其中，

所述電子器件具有蓋體部，該蓋體部覆蓋所述振動片，且與所述基礎部連接。

7.一種電子設備，其特征在于，

該電子設備具有權利要求1至6中的任一項所述的電子器件。

8.一種移動體，其特征在于，

該移動體具有權利要求1至6中的任一項所述的電子器件。