[發明專利]MEMS雙層懸浮微結構的制作方法和MEMS紅外探測器有效
| 申請號： | 201510244071.0 | 申請日： | 2015-05-13 |
| 公開（公告）號： | CN106276776B | 公開（公告）日： | 2019-03-15 |
| 發明（設計）人： | 荊二榮 | 申請（專利權）人： | 無錫華潤上華科技有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00;B81B3/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 鄧云鵬 |
| 地址： | 214028 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | mems 雙層 懸浮 微結構 制作方法 紅外探測器 | ||
【說明書】：
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