[發明專利]有機異質結薄膜光敏電阻與基于有機共軛分子的光敏分壓器

有效

• 申請號: 201510166195.1
• 申請日: 2015-04-09
• 公開（公告）號: CN104868055B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 劉云圻;王翰林;程誠;胡文平;于貴
• 申請（專利權）人: 中國科學院化學研究所
• 主分類號: H01L51/42
• 分類號: H01L51/42;H01L51/46;H01L51/48
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司11245
• 代理人: 關暢

1.一種光敏分壓器，由下至上依次由基底、襯底、圖案化的金屬電極層和電阻層組成；

其中，所述電阻層由共平面的異質結薄膜和酞菁薄膜II組成，且所述異質結薄膜與所述酞菁薄膜II通過所述金屬電極層串聯連接；

所述異質結薄膜由下至上依次為氮，氮-二辛基-3,4,9,10-苝酰亞胺薄膜和酞菁銅或酞菁薄膜。

2.根據權利要求1所述的光敏分壓器，其特征在于：所述氮，氮-二辛基-3,4,9,10-苝酰亞胺薄膜的厚度為20nm-30nm；

所述酞菁銅或酞菁薄膜的厚度均為15nm-30nm。

3.根據權利要求1所述的光敏分壓器，其特征在于：構成所述基底的材料選自硅片、玻璃、聚對苯二甲酸乙二醇酯和聚對萘二甲酸乙二醇酯中的至少一種；

構成所述襯底的材質選自聚丙烯腈薄膜和聚苯氧醚薄膜中的至少一種；

構成所述金屬電極層的材料為金或銀；

所述金屬電極層的厚度為30nm-50nm；

所述酞菁薄膜II的厚度為30nm-40nm；

所述異質結薄膜覆蓋的金屬電極的溝道長度為30-120μm，溝道寬度為360-2400μm；

所述酞菁薄膜II覆蓋的金屬電極的溝道長度為30-120μm，溝道寬度為1200-2400μm。

4.一種制備權利要求1-3中任一項所述光敏分壓器的方法，包括如下步驟：

1)在所述基底上依次制備所述襯底、所述圖案化的金屬電極層后，在所述圖案化的金屬電極層上的指定區域制備一層所述氮，氮-二辛基-3,4,9,10-苝酰亞胺薄膜和所述酞菁銅或酞菁薄膜，得到所述異質結薄膜；

2)在所述金屬電極層上與步驟1)所述指定區域不同的區域制備一層所述酞菁薄膜II，使所述異質結薄膜與所述酞菁薄膜II通過所述金屬電極層串聯連接，得到所述光敏分壓器。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于：制備所述襯底的方法為旋涂法；

制備所述圖案化的金屬電極層、所述氮，氮-二辛基-3,4,9,10-苝酰亞胺薄膜、所述酞菁銅薄膜、所述酞菁薄膜和所述酞菁薄膜II的方法均為真空熱蒸鍍法。

6.根據權利要求4或5所述的方法，其特征在于：所述步驟1)指定區域為所述異質結薄膜覆蓋金屬電極的區域，溝道長度為30-120μm，溝道寬度為360-2400μm；

所述步驟2)中的區域為所述酞菁薄膜II覆蓋金屬電極的區域，溝道長度為30-120μm，溝道寬度為1200-2400μm。