[發(fā)明專利]計(jì)量圖案布局及其使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510141230.4
• 申請日: 2015-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN104950590B
• 公開（公告）日: 2017-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: G·寧;G·于貝爾賴特;L·C·里特;P·阿克曼
• 申請（專利權(quán)）人: 格羅方德半導(dǎo)體公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 北京戈程知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11314
• 代理人: 程偉,王錦陽

1.一種電路圖案結(jié)構(gòu)，包括：

用于電路結(jié)構(gòu)的計(jì)量圖案布局，包括有利于布置多個(gè)計(jì)量圖案的多個(gè)象限，包括：

第一象限，用于第一晶圓測量圖案；

第二象限，用于第二晶圓測量圖案；

第三象限，用于光罩對位圖案；以及

第四象限，用于光罩測量圖案；

其中，該多個(gè)象限的布置有利于將自該第一及第二晶圓測量圖案獲得的數(shù)據(jù)與自該光罩測量圖案及該光罩對位圖案獲得的數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)。

2.如權(quán)利要求1所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該第一象限相對該第二象限呈對角設(shè)置，以及該三象限相對該第四象限呈對角設(shè)置。

3.如權(quán)利要求1所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該第一象限的布置部分地經(jīng)設(shè)計(jì)用以將該光罩對位圖案與該多個(gè)計(jì)量圖案中的其它計(jì)量圖案隔離，以于計(jì)量工具掃描時(shí)最大限度地降低該光罩對位圖案的失真。

4.如權(quán)利要求1所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該第四象限包括該光罩測量圖案，該光罩測量圖案包括多個(gè)結(jié)構(gòu)元件，其中，至少一個(gè)結(jié)構(gòu)元件為至少一個(gè)最外結(jié)構(gòu)元件，該至少一個(gè)最外結(jié)構(gòu)元件經(jīng)設(shè)計(jì)以在光學(xué)鄰近校正過程中保護(hù)該多個(gè)結(jié)構(gòu)元件免受修改。

5.如權(quán)利要求4所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該至少一個(gè)最外結(jié)構(gòu)元件具有至少一個(gè)尺寸維數(shù)大于該光罩的預(yù)定義臨界維數(shù)。

6.如權(quán)利要求5所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該至少一個(gè)尺寸維數(shù)比該光罩的該預(yù)定義臨界維數(shù)大兩倍。

7.如權(quán)利要求4所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該至少一個(gè)最外結(jié)構(gòu)元件是多個(gè)最外結(jié)構(gòu)元件中的一個(gè)最外結(jié)構(gòu)元件。

8.如權(quán)利要求1所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該多個(gè)象限的至少其中一個(gè)還有利于布置兩個(gè)計(jì)量圖案，其中，該第一計(jì)量圖案對應(yīng)雙重圖案化制程的第一曝光層，以及該第二計(jì)量圖案對應(yīng)該雙重圖案化制程的第二曝光層，該兩個(gè)計(jì)量圖案有利于該雙重圖案化制程的覆蓋計(jì)量(overlay metrology)。

9.如權(quán)利要求8所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該第四象限包括第一光罩測量圖案以及第二光罩測量圖案，該第一光罩測量圖案包括具有至少一個(gè)第一最外結(jié)構(gòu)元件的多個(gè)第一結(jié)構(gòu)元件，該至少一個(gè)第一最外結(jié)構(gòu)元件經(jīng)設(shè)計(jì)以在光學(xué)鄰近校正過程中保護(hù)該多個(gè)第一結(jié)構(gòu)元件免受修改，以及該第二光罩測量圖案包括具有至少一個(gè)第二最外結(jié)構(gòu)元件的多個(gè)第二結(jié)構(gòu)元件，該至少一個(gè)第二最外結(jié)構(gòu)元件經(jīng)設(shè)計(jì)以在光學(xué)鄰近校正過程中保護(hù)該多個(gè)第二結(jié)構(gòu)元件免受修改。

10.如權(quán)利要求1所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該計(jì)量圖案布局是經(jīng)設(shè)計(jì)用于電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的第一金屬層的第一計(jì)量圖案布局，以及其中，該第一計(jì)量圖案布局可旋轉(zhuǎn)90°以提供用于該電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的第二金屬層的第二計(jì)量圖案布局。

11.如權(quán)利要求1所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該計(jì)量圖案布局還包括與該多個(gè)象限的其中一個(gè)或多個(gè)相鄰的劃線區(qū)，該劃線區(qū)有利于布置一個(gè)或多個(gè)額外計(jì)量圖案。

12.如權(quán)利要求11所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該劃線區(qū)為方形劃線區(qū)，該方形劃線區(qū)至少部分形成該圖案布局的邊界，以及其中，該多個(gè)象限設(shè)于該方形劃線區(qū)內(nèi)。

13.如權(quán)利要求11所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該劃線區(qū)包括十字形劃線區(qū)，該十字形劃線區(qū)居中設(shè)于該圖案布局內(nèi)，以及其中，該劃線區(qū)隔開該多個(gè)象限。

14.如權(quán)利要求13所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該十字形劃線區(qū)還包括中心區(qū)，該中心區(qū)包括圖案識(shí)別計(jì)量圖案、雙重圖案化覆蓋計(jì)量圖案或其組合。

15.如權(quán)利要求11所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該一個(gè)或多個(gè)額外計(jì)量圖案為一個(gè)或多個(gè)雙重圖案化覆蓋計(jì)量圖案。

16.如權(quán)利要求11所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該一個(gè)或多個(gè)額外計(jì)量圖案為一個(gè)或多個(gè)金屬層覆蓋計(jì)量圖案。

17.如權(quán)利要求11所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該一個(gè)或多個(gè)額外計(jì)量圖案為一個(gè)或多個(gè)導(dǎo)孔層計(jì)量圖案。

18.如權(quán)利要求11所述的電路圖案結(jié)構(gòu)，其中，該計(jì)量圖案布局包括確定的表面積，該確定的表面積包括該多個(gè)象限及該劃線區(qū)的表面積，該確定的表面積有利于在光罩圖案的主動(dòng)區(qū)內(nèi)或晶圓圖案的主動(dòng)區(qū)內(nèi)設(shè)置該結(jié)構(gòu)。