[發(fā)明專利]一種小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510088108.5
• 申請(qǐng)日: 2015-02-26
• 公開（公告）號(hào): CN104729431A
• 公開（公告）日: 2015-06-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王占山;馬爽;蔣勵(lì);沈正祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 同濟(jì)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/255
• 分類號(hào): G01B11/255
• 代理公司: 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225
• 代理人: 趙繼明

1.一種小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法，其特征在于，該方法利用光學(xué)輪廓儀進(jìn)行測(cè)量，包括以下步驟：

A、使用標(biāo)準(zhǔn)平面鏡樣品對(duì)光學(xué)表面輪廓儀內(nèi)參考鏡的表面誤差進(jìn)行校準(zhǔn)；

B、利用牛頓環(huán)原理對(duì)干涉圖中心位置進(jìn)行修正，使得測(cè)試區(qū)域中心和干涉圖中心重合；

C、利用光程差為零時(shí)剩余表面誤差最小的原則確定零級(jí)干涉條紋所在位置；

D、根據(jù)校正后的光學(xué)輪廓儀測(cè)量得到的表面輪廓信息計(jì)算球面光學(xué)元件表面曲率半徑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟A中，在不改變?nèi)魏螀?shù)的情況下，將參考鏡進(jìn)行多次移動(dòng)，并在每個(gè)移動(dòng)位置進(jìn)行多次校準(zhǔn)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟B具體為：

B1)根據(jù)牛頓環(huán)原理計(jì)算干涉圖中心相對(duì)于測(cè)試區(qū)域中心偏差的理論值；

B2)采用四步相交法確定干涉圖中心位置；

B3)根據(jù)所述理論值對(duì)步驟B2獲得的干涉圖中心位置進(jìn)行修正。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法，其特征在于，所述步驟C具體為：

從當(dāng)前亮環(huán)所在位置分別沿著兩個(gè)方向移動(dòng)條紋，并在每個(gè)移動(dòng)位置進(jìn)行多次重復(fù)測(cè)量，將剩余表面誤差均方根值最小的位置確定為零級(jí)條紋所在位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法，其特征在于，該方法還包括：

移動(dòng)測(cè)量區(qū)域，對(duì)每個(gè)測(cè)量區(qū)域重復(fù)步驟A～D，獲得每個(gè)測(cè)量區(qū)域的曲率半徑值，以各區(qū)域曲率半徑值的平均值為最終的球面光學(xué)元件表面曲率半徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的小曲率小口徑球面光學(xué)元件表面曲率半徑測(cè)量方法，其特征在于，各測(cè)量區(qū)域的累積測(cè)試區(qū)域覆蓋球面光學(xué)元件表面的整個(gè)工作區(qū)域。