[發明專利]Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源的光學收集系統

無效

• 申請號: 201510084936.1
• 申請日: 2015-02-16
• 公開（公告）號: CN104570623A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 王騏;徐強;趙永蓬
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B5/10
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 岳昕

1.Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源的光學收集系統，其特征在于：該光學收集系統采用內嵌式Wolter I型收集系統實現，由多層圓桶狀反射鏡構成，所述多層圓桶狀反射鏡依次共軸內嵌，每層反射鏡由一個回轉橢球面(1)和一個回轉雙曲面(2)連接而成，且該回轉橢球面(1)與該回轉雙曲面(2)具有一個公共幾何焦點，即公共焦點(4)，各層反射鏡的公共焦點重合。

2.根據權利要求1所述的Xe介質毛細管放電檢測用極紫外光源的光學收集系統，其特征在于：所述的光學收集系統由10層反射鏡構成，最外層反射鏡最大直徑為458mm。