[發明專利]基板搬送機器人及其機械手無效
| 申請號： | 201510080917.1 | 申請日： | 2015-02-13 |
| 公開（公告）號： | CN104669283A | 公開（公告）日： | 2015-06-03 |
| 發明（設計）人： | 李振國 | 申請（專利權）人： | 北京欣奕華科技有限公司 |
| 主分類號： | B25J15/00 | 分類號： | B25J15/00 |
| 代理公司： | 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291 | 代理人： | 黃志華 |
| 地址： | 100176 北京市大興區經濟*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基板搬送 機器人 及其 機械手 | ||
【權利要求書】：
1.一種機械手，其特征在于，包括：
主體支撐部；
設置于所述主體支撐部上的多只內部中空的指叉，每只指叉用于支撐待移動基板的一面為平面，且每只指叉背離其用于支撐待移動基板的一面為曲面。
2.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述每只指叉沿其長度方向任意一處的橫截面的形狀為半橢圓形。
3.根據權利要求1所述的機械手，其特征在于，所述多只指叉中：部分或全部指叉的橫截面的面積沿其根部向其尖部逐漸減小。
4.根據權利要求2所述的機械手，其特征在于，所述每只指叉的根部的橫截面面積最大的一端的厚度為30㎜～50㎜，寬度為65㎜～85㎜。
5.根據權利要求1～4任一項所述的機械手，其特征在于，所述多只指叉中：部分或全部指叉的內部中空部內設有加強筋。
6.根據權利要求5所述的機械手，其特征在于，所述每只指叉用于支撐待移動基板的一面上設有多個用于安裝吸盤的安裝孔。
7.一種基板搬送機器人，其特征在于，包括如權利要求1～6任一項所述的機械手。
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