[發明專利]一種旋轉樣品臺

有效

• 申請號: 201510077375.2
• 申請日: 2015-02-13
• 公開（公告）號: CN104630734B
• 公開（公告）日: 2017-07-11
• 發明（設計）人: 聞益
• 申請（專利權）人: 北京中科科美科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司11250
• 代理人: 鮑相如

1.一種旋轉樣品臺，其特征在于：包括公轉臺(1)，所述公轉臺(1)在第一驅動裝置的驅動下繞公轉軸線旋轉，與所述公轉軸線相距一定距離設置的至少一個樣品臺(2)，所述樣品臺(2)通過固定于所述公轉臺(1)上的第一支撐件(3)支撐，并通過位于所述公轉臺(1)上的自轉傳動件(4)驅動自轉，所述自轉傳動件(4)通過第二驅動裝置驅動；

所述樣品臺(2)具有用于承載工件的承載部(21)及與所述自轉傳動件(4)連接的連接部(22)，所述自轉傳動件(4)可軸向伸縮以推拉所述連接部(22)，并進而推拉所述樣品臺(2)相對所述第一支撐件(3)轉動，從而調整所述承載部(21)的傾斜角度；

所述自轉傳動件(4)包括可軸向伸縮連接的第一自轉傳動段(41)和第二自轉傳動段(42)，所述第一自轉傳動段(41)通過第一聯動結構與所述第二驅動裝置傳動連接，所述第二自轉傳動段(42)通過萬向節(43)與所述連接部(22)固定連接；

所述第一自轉傳動段(41)與所述第二自轉傳動段(42)互相連接的部分設有可配合插接的柱體(45)/空腔，在所述空腔側壁上還設有用于將所述柱體(45)定位固定在所述空腔內部的定位結構。

2.根據權利要求1所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述定位結構包括設在所述空腔側壁上的定位螺紋通孔，以及螺接在所述定位螺紋通孔上并伸入所述空腔內部擠壓所述柱體(45)，從而將所述柱體(45)定位固定在所述空腔內部的定位螺栓(44)。

3.根據權利要求1所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述柱體(45)為多邊形柱體，所述空腔為可與所述柱體(45)配合插接的多邊形空腔。

4.根據權利要求1所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述自轉傳動件(4)通過第二支撐件固定在所述公轉臺(1)上；所述第二支撐件包括通過軸承可轉動套設在所述第一自轉傳動段(41)或所述第二自轉傳動段(42)上的固定套(46)，設在所述固定套(46)下側的立柱(47)，所述立柱(47)插接于所述公轉臺(1)上，并通過分別從所述公轉臺(1)上方和下方與所述立柱(47)螺紋連接的上固定螺母(48)和下固定螺母(49)固定于所述公轉臺(1)上。

5.根據權利要求1所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述第二驅動裝置包括軸線與所述公轉軸線重合的自轉傳動軸(51)，和驅動所述自轉傳動軸(51)繞所述公轉軸線旋轉的自轉電機(52)；所述第一聯動結構包括設在所述自轉傳動軸(51)上的第一傘齒輪(511)和設在所述第一自轉傳動段(41)的一端上且能夠與所述第一傘齒輪(511)嚙合傳動的第二傘齒輪(411)。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述第一支撐件(3)包括通過軸承可轉動套設在所述樣品臺(2)外部的殼體(31)，與所述公轉臺(1)固定連接的支撐柱(32)，以及將所述殼體(31)可轉動的固定在所述支撐柱(32)上的轉動連接件；所述自轉傳動件(4)軸向伸縮時，能夠推拉所述樣品臺(2)繞所述轉動連接件轉動。

7.根據權利要求6所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述轉動連接件包括設在所述支撐柱(32)上的轉軸(331)或轉軸孔(332)，以及與所述轉軸(331)或所述轉軸孔(332)相對設在所述殼體(331)上、且能夠配合轉動連接的轉軸孔(332)或轉軸(331)。

8.根據權利要求7所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述支撐柱(32)上設有U形固定件(33)，所述轉軸(331)/轉軸孔(332)設在所述U形固定件(33)的兩相對側壁上。

9.根據權利要求6所述的旋轉樣品臺，其特征在于：還包括用于調節所述第一支撐件(3)相對所述公轉軸線的距離長短，并進而調節所述樣品臺(2)相對所述公轉軸線的距離長短的調整結構。

10.根據權利要求9所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述調整結構包括沿所述公轉臺(1)徑向開設在所述公轉臺(1)上、且適于所述支撐柱(32)穿過的長條形通孔(34)，和將所述支撐柱(32)固定在所述長條形通孔(34)內的可調固定件。

11.根據權利要求10所述的旋轉樣品臺，其特征在于：所述可調固定件包括分別從所述公轉臺(1)上方和下方與所述支撐柱(32)螺紋連接的上螺母(341)和下螺母(342)。