[發明專利]一種SPR傳感芯片及其制備方法有效
| 申請號： | 201510070207.0 | 申請日： | 2015-02-11 |
| 公開（公告）號： | CN104634763B | 公開（公告）日： | 2018-01-23 |
| 發明（設計）人： | 王曉萍;董偉;龐凱 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | G01N21/552 | 分類號： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 杭州天勤知識產權代理有限公司33224 | 代理人： | 蔣瓊 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 spr 傳感 芯片 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種SPR傳感芯片，包括平面玻璃基板，其特征在于，所述平面玻璃基板上覆蓋有厚度大于150nm的第一金屬膜，所述第一金屬膜的頂面設有微孔陣列，每一微孔的底部均覆蓋有第二金屬膜，所述第二金屬膜的頂面設有周期排列的若干納米金屬線；
所述第二金屬膜的厚度為30～50nm；
兩納米金屬線之間間隔的寬度與納米金屬線的線寬均為100nm；
所述的SPR傳感芯片通過以下方法制備得到：
(1)在洗凈的平面玻璃基板上依次鍍上鉻層和第一金屬膜；
(2)在第一金屬膜的頂面預留用于開設微孔的位置，其余部位覆蓋保護膜；
(3)在第一金屬膜的預留位置處開設微孔，然后除去保護膜；
(4)在微孔底部鍍第二金屬膜，并在第二金屬膜的頂面依次刻蝕或沉積出每根納米金屬線。
2.如權利要求1所述的SPR傳感芯片，其特征在于，每個微孔內至少設有30根納米金屬線。
3.如權利要求1所述的SPR傳感芯片，其特征在于，所述第一金屬膜的厚度為150～300nm。
4.如權利要求1所述的SPR傳感芯片，其特征在于，所述平面玻璃基板的厚度不超過0.5mm。
5.一種SPR傳感器，包括棱鏡，以及與棱鏡相耦合的SPR傳感芯片，其特征在于，所述SPR傳感芯片為權利要求1～4任一所述的SPR傳感芯片，所述棱鏡與SPR傳感芯片中平面玻璃基板的材質相同。
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