[發(fā)明專(zhuān)利]熱處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201510066505.2
• 申請(qǐng)日: 2015-02-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104835760B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-11-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 森本篤史;小窪正范
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 光洋熱系統(tǒng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/67
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 北京信慧永光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11290
• 代理人: 周善來(lái);李雪春

1.一種熱處理裝置，其特征在于，

所述熱處理裝置包括：加工處理管，一端封閉并且另一端形成有開(kāi)口，被熱處理的工件通過(guò)所述開(kāi)口收容在所述加工處理管中；門(mén)，對(duì)該加工處理管的開(kāi)口進(jìn)行開(kāi)閉；以及開(kāi)閉機(jī)構(gòu)，使所述門(mén)動(dòng)作，以使得所述開(kāi)口開(kāi)閉，

所述門(mén)包括：內(nèi)表面構(gòu)件，配置在所述加工處理管側(cè)；絕熱材料，配置在該內(nèi)表面構(gòu)件的外側(cè)；以及門(mén)框，配置在該絕熱材料的外側(cè)并保持所述內(nèi)表面構(gòu)件和所述絕熱材料，

所述開(kāi)閉機(jī)構(gòu)包括：驅(qū)動(dòng)臂，在向所述加工處理管靠近的一個(gè)方向和從所述加工處理管遠(yuǎn)離的另一個(gè)方向上被驅(qū)動(dòng)；驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)所述驅(qū)動(dòng)臂；以及門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件，以能傾斜的方式將所述門(mén)支承在所述驅(qū)動(dòng)臂的前端部，

所述門(mén)伴隨所述驅(qū)動(dòng)臂的驅(qū)動(dòng)而移動(dòng)，能夠使所述加工處理管的開(kāi)口開(kāi)閉，

所述門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件，具備：軸承，安裝在所述驅(qū)動(dòng)臂的前端部；以及擺動(dòng)軸，在一端部安裝有所述門(mén)框，且另一端部保持在所述軸承的內(nèi)圈，按照所述內(nèi)圈相對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)臂的相對(duì)擺動(dòng)與所述門(mén)框一起傾斜，

所述開(kāi)閉機(jī)構(gòu)還具有門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件，所述門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件限制所述門(mén)圍繞中心的轉(zhuǎn)動(dòng)，所述門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件被設(shè)置成對(duì)于所述驅(qū)動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向僅在相對(duì)于所述擺動(dòng)軸的一側(cè)的位置限制所述擺動(dòng)軸的擺動(dòng)，

在所述開(kāi)閉機(jī)構(gòu)使所述門(mén)移動(dòng)而關(guān)閉所述加工處理管的開(kāi)口時(shí)，通過(guò)所述內(nèi)表面構(gòu)件按壓在所述加工處理管的開(kāi)口的周緣，所述門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件以所述內(nèi)表面構(gòu)件沿著所述加工處理管的開(kāi)口的周緣的方式調(diào)整所述門(mén)的傾斜，由此使所述內(nèi)表面構(gòu)件與所述加工處理管的開(kāi)口的周緣密封。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，所述加工處理管是石英管。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，

在所述加工處理管內(nèi)導(dǎo)入擴(kuò)散用氣體，所述擴(kuò)散用氣體包含用于對(duì)工件進(jìn)行熱處理的三氯氧磷或三溴化硼。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱處理裝置，其特征在于，所述軸承是桿端軸承。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的熱處理裝置，其特征在于，

所述門(mén)傾斜調(diào)整構(gòu)件還包括：角度調(diào)節(jié)頭，設(shè)置在所述擺動(dòng)軸的另一端部；以及

角度調(diào)節(jié)塊，設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)臂的前端部，并形成有所述角度調(diào)節(jié)頭貫通的開(kāi)口，并且所述開(kāi)口的尺寸為容許所述角度調(diào)節(jié)頭的傾斜的大小。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的熱處理裝置，其特征在于，所述門(mén)轉(zhuǎn)動(dòng)限制構(gòu)件還包括：轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭，設(shè)置在所述門(mén)框和所述驅(qū)動(dòng)臂中的一方上；以及轉(zhuǎn)動(dòng)限制板，設(shè)置在所述門(mén)框和所述驅(qū)動(dòng)臂中的另一方上，并形成有開(kāi)口，所述轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭貫通該開(kāi)口，并且該開(kāi)口的尺寸能將所述轉(zhuǎn)動(dòng)限制頭的轉(zhuǎn)動(dòng)限制在規(guī)定范圍的大小。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任意一項(xiàng)所述的熱處理裝置，其特征在于，

所述驅(qū)動(dòng)裝置是氣缸機(jī)構(gòu)，所述氣缸機(jī)構(gòu)具備往返運(yùn)動(dòng)的活塞桿以及收納該活塞桿的氣缸筒，通過(guò)接受提供的流體壓力并使所述活塞桿相對(duì)于所述氣缸筒前進(jìn)或后退來(lái)傳遞驅(qū)動(dòng)力，

所述驅(qū)動(dòng)臂的基端部與所述活塞桿連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的熱處理裝置，其特征在于，

所述驅(qū)動(dòng)臂與封閉所述加工處理管的開(kāi)口的面平行地延伸，

所述驅(qū)動(dòng)臂的基端部和第一連桿的一端部以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承在固定支架的一端部，使得所述驅(qū)動(dòng)臂和所述第一連桿一起轉(zhuǎn)動(dòng)，

所述氣缸筒以能轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承在所述固定支架的另一端部，并且所述第一連桿的另一端部與所述活塞桿的前端部以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式連接，

所述固定支架以該固定支架的一端部比另一端部更靠近所述加工處理管的方式設(shè)置。