[發明專利]用于處理激光的設備

有效

• 申請號: 201510059644.2
• 申請日: 2015-02-04
• 公開（公告）號: CN104816085B
• 公開（公告）日: 2018-05-29
• 發明（設計）人: 羅玉鈞;李成龍;吳榮錫;崔尙奎;蔣盛旭
• 申請（專利權）人: AP系統股份有限公司
• 主分類號: B23K26/0622
• 分類號: B23K26/0622;B23K26/70;B23K26/08
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 楊貝貝;臧建明

本發明內容涉及一種用于處理激光的設備，且更明確地說，涉及一種用于驅動激光輻照器以用于將激光輻照到襯底上、轉換激光振蕩模式時防止激光質量惡化的激光處理設備。用于處理激光的設備包含：操作脈沖產生部件，其經設置以產生用于在輻照激光的操作狀態中振蕩激光的操作脈沖；備用脈沖產生部件，其經設置以產生用于在尚未輻照激光的備用狀態中振蕩激光的備用脈沖；切換部件，其經設置以選擇操作脈沖和備用脈沖中的一者以將選定脈沖提供到激光輻照器；和相對移動模塊驅動部件，其經設置以控制切換部件使得當未檢測到平臺或激光輻照器的移動時將備用脈沖提供到激光輻照器，且當檢測到平臺或激光輻照器的移動時將操作脈沖提供到激光輻照器。

技術領域

本發明內容涉及一種用于處理激光的設備，且更明確地說，涉及一種用于驅動激光輻照器以用于將激光輻照到襯底上的激光處理設備。

背景技術

當在薄膜沉積在大型襯底上之后執行退火時，難以確保在襯底上的均勻性。因此，正建議各種替代方案，其中的一者為使用激光的退火方法。

圖1為用于解釋根據現有技術的激光熱處理設備的示意圖。參看圖1，將石英窗20安置在反應室10的頂表面中，且將激光輻照器40安置在石英窗20上方。從激光輻照器40輸出的激光41穿過石英窗20且輻照到襯底W(例如，反應室10中之芯片)上。

圖2(a)及圖2(b)為用于解釋在圖1中使用的激光41或激光束的視圖，圖2(a)為當從上方檢視時的襯底的視圖，且圖2(b)為襯底的透視圖。參看圖2(a)及圖2(b)，在激光垂直于襯底或相對于襯底稍微傾斜的狀態中，激光41按簾幕形狀線性輻照。襯底W在垂直于激光41的表面或相對于激光41的表面稍微傾斜的方向上水平移動，以允許激光41輻照到襯底W的整個表面上。

圖3(a)及圖3(b)為在內部模式和外部模式中操作的激光輻照器的視圖。即使激光輻照器未輻照激光，仍必須將激光輻照器維持在為備用狀態的預熱狀態中。這是因為僅當在輻照激光之前將激光輻照器維持在預熱備用狀態中時，激光輻照器才會輻照具有均勻能量分布的穩定激光。

即使激光并未實際上輻照到外面，激光振蕩仍在激光輻照器中持續發生，以便維持激光輻照器的預熱備用狀態。為此，當將激光輻照器維持在備用狀態中時，其在如圖3(a)中所說明的內部模式中操作，以自身產生具有方波波形的脈沖(內部脈沖)，且接著通過使用內部脈沖產生振蕩脈沖，由此在備用狀態中振蕩激光。

在備用狀態中，當必須實際上執行激光發射時，從外部裝置提供用以振蕩激光發射的脈沖(外部脈沖)。此處，激光發射表示激光經振蕩且輻照的時刻。例如，可針對振蕩脈沖的每一上升時刻執行激光發射。因此，振蕩脈沖的周期減小得越多，那么激光發射的周期減小得越多。相反地，振蕩脈沖的周期增加得越多，那么激光發射的周期增加得越多。

類似地，當必須實際上輻照激光時，激光輻照器的模式被轉換成外部模式以從外面接收外部脈沖(通過外部脈沖來確定激光發射的周期)以產生振蕩脈沖。然而，當將外部模式轉換成內部模式以從外部裝置接收外部脈沖(由此將接收的外部脈沖用作振蕩脈沖)時，歸因于突然的模式轉換，可產生振蕩脈沖的不穩定波形，且因此輻照的激光發射可損失能量。同樣，在內部模式轉換成外部模式時，發生外部脈沖的輸入延遲，且因此激光未輻照到襯底的所要的位置上。

[現有技術文件]

(專利文件1)韓國專利公開案第10-2011-0070265號

發明內容

本發明內容提供一種用于當轉換激光振蕩模式時防止激光在質量上惡化的激光處理設備。本發明內容還提供一種用于當轉換激光振蕩模式時防止振蕩脈沖受到延遲的激光處理設備。本發明內容還提供用于使激光輻照器僅在外部模式中操作的單元。