[發明專利]多晶鑄錠爐防回油裝置及其使用方法在審
| 申請號: | 201510048109.7 | 申請日: | 2015-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN104611766A | 公開(公告)日: | 2015-05-13 |
| 發明(設計)人: | 談軍;劉榮建;季小軍;呂劍明;孫東 | 申請(專利權)人: | 國電兆晶光電科技江蘇有限公司 |
| 主分類號: | C30B28/06 | 分類號: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 常州市維益專利事務所 32211 | 代理人: | 周祥生 |
| 地址: | 213200 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 多晶 鑄錠 爐防回油 裝置 及其 使用方法 | ||
技術領域:
本發明涉及多晶鑄錠爐進氣保壓裝置,尤其涉及多晶鑄錠爐雙管道進氣轉換保壓裝置。
背景技術:
在太陽能電池技術領域中,多晶鑄錠是必不可少的一個重要環節,即用多晶鑄錠爐將多晶原料鑄造出多晶硅錠,多晶鑄錠爐在運行前要保證爐內無空氣,以保證正常運行及良錠的產出,所以在鑄錠前需要將鑄錠爐內抽真空,充入氬氣排雜,以保證爐內無雜質氣體。
現在使用多晶鑄錠爐的大部分廠家都使用真空泵直接抽真空,真空泵與鑄錠爐之間直接由抽氣管相連通,若真空泵在使用過程中出現故障,如電機故障、皮帶斷裂、主軸斷裂等,真空泵將停止工作。由于在初始加熱狀態下的鑄錠爐爐內真空度0.006~0.008Pa,為極限真空狀態,而在硅料融化階段逐步加壓到600Pa,外界大氣壓為980Pa,所以鑄錠爐內的壓力低于外界大氣壓,兩者之間形成較大壓力差,導致外界氣體回流爐腔,從而導致真空泵內的機械油會通過抽氣管倒流至爐腔內,由于爐腔內溫度很高,機械油呈霧狀直接噴入鑄錠爐內,導致爐腔內的晶錠、加熱器等被污染,直接報廢,全部更換新零件,給廠家帶來巨大的損失。針對現有技術的不足,本申請人經過長期的研究,發明了一種多晶鑄錠爐防回油裝置。
發明內容:
為了解決真空泵回油污染鑄錠爐帶來的問題,本發明的目的是克服現有設備的技術缺陷,提供一種多晶鑄錠爐防回油裝置,它可在真空泵損壞時,外界氣體無法回流爐腔,真空泵內的機械油無法通過抽氣管倒流至爐腔內,不會污染爐腔內的晶錠與加熱器等。
本發明所采用的技術方案是:
多晶鑄錠爐防回油裝置,其特征是:包括真空泵、單向閥、抽氣管和鑄錠爐,真空泵與鑄錠爐之間由抽氣管相通聯,單向閥安裝在真空泵與鑄錠爐之間的抽氣管上,真空泵將鑄錠爐內的氣體通過抽氣管和單向閥排出。
本發明采用了多晶鑄錠爐防回油裝置,它在真空泵與鑄錠爐之間的抽氣管上安裝單向閥,在真空泵出現故障時,外界氣體不能通過抽氣管回流,真空泵內的機械油也無法通過抽氣管倒流入鑄錠爐內。杜絕了機械油污染鑄錠爐腔內的晶錠、加熱器等,為廠家節約了大量的成本,不會對生產造成影響。
附圖說明:
圖1為本發明結構示意圖;
圖中:1-真空泵;2-單向閥;3-抽氣管;4-鑄錠爐。
具體實施方式:
下面結合附圖詳細說明本發明的具體實施方案。
多晶鑄錠爐防回油裝置,如圖1所示,包括真空泵1、單向閥2、抽氣管3和鑄錠爐4,真空泵1與鑄錠爐4之間由抽氣管3相通聯,單向閥2安裝在真空泵1與鑄錠爐4之間的抽氣管3上,真空泵1將鑄錠爐4內的氣體通過抽氣管3和單向閥2排出。
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