[發明專利]感光性樹脂組合物、電子元件及其制造方法

在審

• 申請號: 201510031709.2
• 申請日: 2015-01-22
• 公開（公告）號: CN104808438A
• 公開（公告）日: 2015-07-29
• 發明（設計）人: 張雅欣;歐世駿;佘怡璇
• 申請（專利權）人: 達興材料股份有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 秦劍

1.一種感光性樹脂組合物，包括：

光起始劑；

堿可溶樹脂；

可聚合單體；

密著促進劑，其為分子量100到30000的硅烷化合物；

原酸酯；以及

溶劑。

2.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，該密著促進劑是由R¹Si(OR²)_3-nR³_n表示的硅烷化合物，其中

R¹為烷基或具有乙烯基、環氧基、氨基、(甲基)丙烯酰氧基、巰基、硅烷基或異丁烯基的烷基基團，

R²分別為C₁-C₃烷基，

R³分別為C₁-C₃烷基，且

n為0、1或2。

3.如權利要求2所述的感光性樹脂組合物，其中n為0。

4.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中該密著促進劑是γ-(甲基丙烯酰氧)丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷或γ-縮水甘油丙基三甲氧基硅烷。

5.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中該原酸酯是由R⁴C(OR⁵)₃表示的化合物，其中R⁴為氫或C₁-C₃烷基，且R⁵各自獨立為C₁-C₄烷基。

6.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中以該感光性樹脂組合物的總量計，該密著促進劑的含量為0.1重量％到10重量％。

7.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中以該感光性樹脂組合物的總量計，該原酸酯的含量為0.1重量％到35重量％。

8.如權利要求1所述的感光性樹脂組合物，其中以該感光性樹脂組合物的總量計，該光起始劑的含量為1重量％到10重量％，該堿可溶樹脂的含量為1重量％到40重量％，該可聚合單體的含量為1重量％到40重量％，而該溶劑的含量為20重量％到80重量％。

9.一種電子元件的制造方法，包括：

提供基底；

在該基底上涂布權利要求1到8中任一項所述的感光性樹脂組合物；以及

使涂布在該基底上的該感光性樹脂組合物受光照射而硬化。

10.一種電子元件，由權利要求9所述的電子元件的制造方法制成。