[發(fā)明專利]一種鉭靶材的制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201510021983.1
• 申請日: 2015-01-16
• 公開（公告）號(hào): CN104741872B
• 公開（公告）日: 2017-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李桂鵬;陳林;鄭愛國;汪凱;李兆博;同磊;宿康寧
• 申請（專利權(quán)）人: 寧夏東方鉭業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 趙青朵

1.一種鉭靶材的制備方法，包括以下步驟：

A)，將鉭錠進(jìn)行冷旋鍛，將冷旋鍛后的鉭錠進(jìn)行酸洗，將酸洗后的鉭錠進(jìn)行熱處理；

B)，將步驟A)得到的鉭錠進(jìn)行三次軸向鐓粗拔長的熱鍛，將熱鍛后的鉭錠進(jìn)行酸洗，將酸洗后的鉭錠進(jìn)行熱處理；

C)，將步驟B)得到的鉭錠進(jìn)行三次三向墩粗拔長的熱鍛，將熱鍛后的鉭錠進(jìn)行酸洗，將酸洗后的鉭錠進(jìn)行熱處理；

D)，將步驟C)得到的鉭錠進(jìn)行一次軸向墩粗拔長的熱鍛，將熱鍛后的鉭錠進(jìn)行酸洗，將酸洗后的鉭錠進(jìn)行熱處理；

E)，將步驟D)得到的鉭錠進(jìn)行十字交叉軋制，將軋制后的鉭錠進(jìn)行酸洗，將酸洗后的鉭錠進(jìn)行熱處理，得到鉭靶材。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中所述鉭錠的直徑大于等于160mm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述軋制的道次大于10次，前十個(gè)道次加工率為50％～75％。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)中所述酸洗的溶液為體積比為5:2的鹽酸與氫氟酸的混合溶液，步驟B)、步驟C)、步驟D)與步驟E)中所述酸洗的溶液均為體積比為5:3:2的鹽酸、氫氟酸與硫酸的混合溶液；所述鹽酸的濃度為37wt％，所述氫氟酸的濃度為40wt％，所述硫酸的濃度為75wt％。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟A)、步驟B)、步驟C)、步驟D)與步驟E)中所述熱處理的溫度均為鉭錠熔點(diǎn)的25％～45％，保溫時(shí)間均為90min～240min。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟B)中所述熱鍛的溫度為800℃～1200℃；步驟C)中所述熱鍛的溫度為800℃～1200℃；步驟D)中所述熱鍛的溫度為800℃～1200℃。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制備方法，其特征在于，步驟E)中所述軋制的溫度為800℃～1200℃。