[發明專利]激光三維成像裝置及其制造方法有效
| 申請號: | 201510019136.1 | 申請日: | 2015-01-14 |
| 公開(公告)號: | CN105842706B | 公開(公告)日: | 2019-02-22 |
| 發明(設計)人: | 邢超;毛劍宏 | 申請(專利權)人: | 上海麗恒光微電子科技有限公司 |
| 主分類號: | G01S17/89 | 分類號: | G01S17/89;H01L21/768 |
| 代理公司: | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 鄭瑋 |
| 地址: | 201203 上海市浦東新區張江*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 激光 三維 成像 裝置 及其 制造 方法 | ||
【說明書】:
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