[其他]壓力測量儀和具有壓力測量儀的壓力測量變換器有效
| 申請號: | 201490000422.2 | 申請日: | 2014-03-25 |
| 公開(公告)號: | CN205138705U | 公開(公告)日: | 2016-04-06 |
| 發明(設計)人: | 約瑟夫·費倫巴赫 | 申請(專利權)人: | VEGA格里沙貝兩合公司 |
| 主分類號: | G01L9/00 | 分類號: | G01L9/00;G01L19/00;G01L19/04 |
| 代理公司: | 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290 | 代理人: | 曹正建;陳桂香 |
| 地址: | 德國沃*** | 國省代碼: | 德國;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓力 測量儀 具有 測量 變換器 | ||
技術領域
本實用新型涉及一種用于檢測與測量儀鄰接的介質的壓力的壓力測量儀。
背景技術
這種壓力測量儀是已知的,并在測量技術的許多領域用于過程觀察。為了測量與測量儀鄰接的介質的壓力,測量儀具有彈性測量膜片,該彈性測量膜片根據介質內部存在的壓力發生偏移,其中,膜片的偏移或可逆變形被機電地轉換成相應的電測量信號。對于電容式機電轉換器,設置在測量膜片的遠離介質的一側的測量電極與相對地設置在主體上的對置電極共同形成測量電容器,該測量電容器的電容值根據由測量膜片的由壓力引起的偏移發生變化。測量膜片與主體共同形成相對于介質壓力密封的測量室。
這種電容式壓力測量儀存在的問題在于,由于測量膜片與介質直接接觸并因此受其溫度波動的影響,所以介質溫度突然變化,在壓力測量中出現測量誤差。
已知的是,通過測量周圍溫度來測定主體的溫度或緩慢的溫度變化,并利用這種溫度測量值相應地校正壓力測量值。盡管如此,當壓力測量儀的測量膜片與主體之間溫差大時,特別是在介質的溫度快速或突然變化的情況下,這種校正方法仍導致所計算的壓力測量值錯誤地跳躍,僅在整個壓力測量儀緩慢地變得均熱時,該壓力測量值才返回到正確的測量值。
此外,為確定經溫度補償的壓力測量值,已知的方法既要測量壓力測量儀主體的溫度,也要測量其測量膜片的溫度,并借助這兩個溫度測量值來補償壓力測量值。
因而,在例如DE4011901A1公開的電容式壓力測量儀中,在測量膜片上設置由具有取決于溫度的電阻值的材料形成的電阻值路徑,該電阻值路徑圓形地設置在電容器板上以形成圓形測量電極。這種具有電阻值路徑的測量膜片的制造費用高,并因此導致高的制造成本。
實用新型內容
鑒于這種現有技術,本實用新型的目的在于提供一種上述類型的壓力測量儀,該壓力測量儀能夠對壓力測量儀的測量膜片的溫度進行簡單和準確的測量。
這種用于檢測與壓力測量儀鄰接的介質的壓力的壓力測量儀具有:彈性測量膜片,其第一側面至少部分與所述介質接觸,且其第二側面遠離所述介質,以及主體,其設置成與所述測量膜片的所述第二側面相對,其特征在于,所述主體設置有紅外傳感器,以用于通過檢測由所述測量膜片的所述第二側面輻射的紅外線輻射來測量所述測量膜片的溫度。
其中,所述紅外傳感器可關于所述測量膜片的所述第二側面中心地設置。
根據本實用新型的這種壓力測量儀的優點在于簡單的結構,這是因為不必改變測量膜片,特別是為制造例如電阻值路徑及它們的接觸不需要其他的層。
此外,已表明,利用根據本實用新型的這種壓力測量儀,同樣可以快速和直接探測介質快速或突然的溫度變化。
最后,根據本實用新型的這種壓力測量儀可以利用很少的額外成本進行制造,這是因為對于紅外傳感器可供使用的元件是市場上常見的并因此成本低廉的電子元件,例如,紅外(IR)探測二極管或晶體管。
根據本實用新型實施例的優點,所述主體具有與所述紅外傳感器的外部輪廓相配合的容納孔以用于容納所述紅外傳感器。可以簡單地實現這種主體,使得所述紅外傳感器的紅外敏感探測面對準所述測量膜片。
可選擇地,根據本實用新型的另一種優選實施例,在所述主體的與所述測量膜片的所述第二側面相對的側面上設置所述紅外傳感器。在所述主體上的這種設置中,僅需要用于所述紅外傳感器的連接線的通孔。
根據本實用新型的被構成為電容式測量儀的壓力測量儀,所述測量膜片與所述主體共同形成壓力密封的測量室,其中,在所述測量膜片的所述第二側面上設置測量電極并在所述主體上設置對置電極,以形成測量電容器。
如果在這種壓力測量儀上將所述紅外傳感器設置在所述主體的貫通容納孔內,則所述紅外傳感器必須相對于主體被相應地密封,以便保持所述測量室的壓力密封性。另一方面,如果所述紅外傳感器設置在所述主體上,則僅所述紅外傳感器的穿過所述主體的連接線相對于主體被密封。
最后,有利地,所述測量膜片和/或所述主體由陶瓷材料制造。
根據本實用新型的壓力測量儀可以有利地用于構成壓力測量變換器。
附圖說明
下面基于參照附圖的實施例來詳細說明本實用新型,其中:
圖1示出根據本實用新型第一實施例的壓力測量儀的示意剖面圖。
圖2示出根據本實用新型第二實施例的壓力測量儀的示意剖面圖。
具體實施方式
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