[發(fā)明專利]用于石墨烯與絕緣體和器件的集成的石墨烯氟化作用有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201480078805.6 | 申請日： | 2014-06-13 |
| 公開（公告）號： | CN106463478B | 公開（公告）日： | 2020-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | R·考迪羅;U·阿維奇 | 申請（專利權(quán)）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | H01L23/14 | 分類號： | H01L23/14;H01L23/18 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 陳松濤;王英 |
| 地址： | 美國加*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 石墨 絕緣體 器件 集成 氟化 作用 | ||
【說明書】：
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