[發(fā)明專利]用于非接觸式測量P-N結(jié)的薄層電阻及分流電阻的方法及設(shè)備有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201480069850.5 | 申請日： | 2014-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN105849577B | 公開（公告）日： | 2020-01-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | V·N·法伊費爾;I·S·G·凱利-摩根 | 申請（專利權(quán)）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R35/00 | 分類號： | G01R35/00 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 接觸 測量 薄層 電阻 分流 方法 設(shè)備 | ||
【權(quán)利要求書】：
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