[發明專利]密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置

有效

• 申請號: 201480064689.2
• 申請日: 2014-12-10
• 公開（公告）號: CN105765277B
• 公開（公告）日: 2017-11-17
• 發明（設計）人: 中村剛;金秀樹;樋口英也
• 申請（專利權）人: 日本精工株式會社
• 主分類號: F16J15/3204
• 分類號: F16J15/3204;F16C19/04;F16C33/78;F16C35/063;F16C35/07;H01L21/68
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司11467
• 代理人: 劉小靜

技術領域

本發明涉及用于分隔壓力不同的2個空間的密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置。

背景技術

在輸送裝置、半導體制造裝置或機床等制造裝置中，會使用使旋轉臺旋轉、或者使半導體基板、工件或工具旋轉的旋轉機構。作為這樣的旋轉機構，例如在專利文獻1中記載了一種定位裝置(參照圖2)。

專利文獻1：日本特開2007－9939號公報

發明內容

記載于專利文獻1的技術，通過在密封槽內收納作為接觸式密封件的O形環，來使真空腔室等處理室內與外部環境隔離，同時使軸旋轉。然而，O形環雖然可提高密封性，但是由于強制性地使其變形與軸接觸，所以O形環或軸可能產生變形或磨損。如果選用適合于處理室內的O形環，則密封性有可能不夠，如果選用適合于外部環境的O形環，則又可能受到處理室內的影響使壽命變短等，所以各種材質既有優點又有缺陷。因此，期望一種能夠提高密封性并且抑制部件的老化而降低部件更換頻率的旋轉機構。

本發明是鑒于上述情況而完成的，其目的在于提供一種能夠提高密封性的密封機構、密封機構的驅動裝置、輸送裝置和制造裝置。

為了實現上述目的，本發明涉及的密封機構，其分隔壓力或氣體不同的2個空間，其包括：外殼；軸，其插入到上述外殼中；以及多個環狀密封部件，其與上述軸的一部分或固定于上述軸的旋轉部的徑向外側表面接觸，對間隙進行密封，上述多個環狀密封部件分別含有不同材質的材料，并且配置于與上述軸的中心軸平行的軸向上的不同位置。

該密封機構中，多個環狀密封部件能夠分別對應于軸的軸向上的不同位置發揮適當的密封性，能夠抑制磨損等劣化的加劇。

作為本發明的理想方式，優選在上述壓力不同的2個空間中靠近高壓側空間設置的環狀密封部件含有密封性能較高的材質的材料，而靠近低壓側空間設置的環狀密封部件含有耐腐蝕性較高的材質的材料。采用這種結構，對于靠近高壓側空間設置的環狀密封部件而言，真空環境、減壓環境、處理氣體填充環境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于靠近低壓側空間設置的環狀密封部件而言，由于高壓側空間的壓力被另一個環狀密封部件減小，所以只承受很小的壓力。而且，多個環狀密封部件能夠分別對應于軸的軸向上的不同位置發揮適當的密封性，能夠抑制磨損等劣化的加劇。

作為本發明的理想方式，優選上述多個環狀密封部件含有硬度不同的材料，靠近上述壓力不同的2個空間中靠近高壓側空間設置的環狀密封部件含有比靠近低壓側空間設置的環狀密封部件硬的材料。由此，對于靠近高壓側空間設置的環狀密封部件而言，真空環境、減壓環境、處理氣體填充環境的影響被抑制，由氣體等引起的劣化被抑制。對于靠近低壓側空間設置的環狀密封部件而言，由于高壓側空間的壓力被另一個環狀密封部件減小，所以只承受很小的壓力。由此，多個環狀密封部件能夠分別對應于軸的軸向上的不同位置發揮適當的密封性，能夠抑制磨損等劣化的加劇。

作為本發明的理想方式，優選上述環狀密封部件包括：固定部，其與上述外殼接觸；唇部，其與上述旋轉部的徑向外側表面接觸；以及環狀連結部，其連結上述固定部和上述唇部。該密封機構能夠提高環狀密封部件與旋轉部接觸的接觸壓力，所以能夠實現較高的密封性。

作為本發明的理想方式，優選還具有施力部件，其將上述唇部的按壓力施加于旋轉部側，上述施力部件設置在由上述唇部、上述環狀連結部和上述固定部包圍的空間中。采用這種結構，密封機構能夠提高密封性。

作為本發明的理想方式，優選上述軸以能夠旋轉的方式被支承。由此，密封機構能夠在壓力或氣體不同的2個空間之間傳遞旋轉運動。

作為本發明的理想方式，優選上述軸以能夠進行使所述軸與所述外殼的相對位置在軸向上變化這樣的直線運動的方式被支承。由此，密封機構能夠在壓力或氣體不同的2個空間之間傳遞直線運動。

作為本發明的理想方式，優選上述多個環狀密封部件中軸向上相鄰的環狀密封部件之間的距離大于上述軸能夠進行直線運動的軸向上的行程。采用這種結構，能夠在多個環狀密封部件中對軸向上相鄰的環狀密封部件使用不同的潤滑劑。其結果，能夠延長環狀密封部件的壽命。

作為本發明的理想方式，優選具有貯存部，其向上述多個環狀密封部件中軸向上相鄰的環狀密封部件的一方供給潤滑劑，從上述貯存部至軸向上相鄰的環狀密封部件的另一方的距離大于上述軸能夠進行直線運動的軸向上的行程。采用這種結構，能夠在多個環狀密封部件中對軸向上相鄰的環狀密封部件使用不同的潤滑劑。其結果，能夠延長環狀密封部件的壽命。