[發明專利]包括用于對耐受溫度變化的粘合劑層進行控制的結構的壓力傳感器

有效

• 申請號: 201480061385.0
• 申請日: 2014-10-24
• 公開（公告）號: CN105705926B
• 公開（公告）日: 2018-06-01
• 發明（設計）人: S·布里達;大衛·塞耶
• 申請（專利權）人: 奧克西特羅股份公司
• 主分類號: G01L19/14
• 分類號: G01L19/14;G01L19/04
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 徐川;姚開麗

1.一種壓力傳感器，包括：

敏感元件(1)，該敏感元件(1)包括安裝襯底(11)，該安裝襯底(11)包括頂面(11a)和底面(11b)，所述敏感元件(1)進一步包括可形變膜片(10)，該可形變膜片(10)被連接至所述安裝襯底(11)的所述頂面(11a)；

外殼(2)，所述敏感元件(1)被放置在該外殼(2)中，該外殼包括基底(21)；

中間結構(4)，其被布置在所述外殼(2)的所述基底(21)與所述安裝襯底(11)之間，所述中間結構(4)包括基底(41、41d)，該基底(41、41d)包括頂面(41a)和被連接至所述外殼的所述基底(21)的底面(41b)，所述中間結構(4)進一步包括多個楔形體(42、43、44、45)，該多個楔形體(42、43、44、45)被布置成使所述安裝襯底(11)與所述基底(41、41d)的所述頂面(41a)之間保持預定的距離(d)，所述多個楔形體在所述安裝襯底(11)與所述中間結構(4)中間限定了自由空間(40)；

粘合劑層(3)，其在所述基底(41、41d)的所述頂面上延展以使得所述多個楔形體被布置在所述粘合劑層周圍，所述粘合劑層(3)的厚度(e)由所述安裝襯底(11)與所述基底(41、41d)的所述頂面之間的所述預定的距離(d)來控制。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構被進一步配置成限定介于所述安裝襯底(11)的所述底面(11b)與所述中間結構(4)的所述頂面(41a)之間的空間(40)。

3.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構(4)為矩形，并且包括四個楔形體(42、43、44、45)，每一個楔形體被放置在所述中間結構(4)的一個角上。

4.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構(4)是可形變的。

5.根據權利要求4所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構(4)進一步包括薄部(41c)和厚部(41d)，所述薄部(41c)支承所述粘合劑層(3)。

6.根據權利要求5所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構進一步包括支承臺(41e)，所述支承臺(41e)被布置在所述中間結構(4)的所述薄部(41c)的中央。

7.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構(4)是由選自下述組中的材料所制成的襯底：硅、玻璃、石英、氧化鋁、藍寶石、碳化硅。

8.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構(4)是由派萊克斯耐熱玻璃制成的襯底。

9.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述粘合劑層(3)以硅酮為基本成分，硅酮為在經受溫度變化時具有柔性的材料。

10.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述中間結構(4)的所述底面(41b)通過黏合層(5)的中介作用被連接至所述外殼(2)的基底。

11.根據權利要求10所述的壓力傳感器，其中，所述黏合層(5)是環氧樹脂層。

12.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其中，所述粘合劑層(3)的厚度(e)等于所述敏感元件(1)與所述中間結構(4)的所述頂面之間所保持的所述預定的距離(d)。

13.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，包括中央凹部(50)，該中央凹部(50)使得所述壓力傳感器被配置成差異性地測量壓力。

14.一種用于制造根據權利要求1至13中任一項所述的壓力傳感器的方法，該方法包括下述步驟：

提供(E1)敏感元件(1)，所述敏感元件(1)包括安裝襯底(11)，所述安裝襯底包括頂面(11a)和底面(11b)，所述敏感元件進一步包括可形變膜片(10)，該可形變膜片(10)被連接至所述安裝襯底(11)的所述頂面(11a)；

提供(E2)包含有基底(21)的外殼(2)；

提供(E3)中間結構(4)，該中間結構(4)包括基底(41)，該基底(41、41d)包括頂面(41a)，所述中間結構(4)進一步包括多個楔形體(42、43、44、45)，該多個楔形體(42、43、44、45)被布置成使所述安裝襯底(11)與所述基底(41、41d)的所述頂面(41a)之間保持預定的距離(d)，所述多個楔形體在所述安裝襯底(11)與所述中間結構(4)中間限定了自由空間(40)；

在所述中間結構(4)的頂面上沉積(E4)粘合劑層(3)以使得所述多個楔形體被布置在所述粘合劑層周圍，所述粘合劑層(3)的厚度(e)由所述安裝襯底(11)與所述基底(41、41d)的所述頂面之間的所述預定的距離(d)來控制；

將所述中間結構(4)連接(E5)至所述安裝襯底(11)；

將所述中間結構(4)連接(E6)至所述外殼的所述基底(21)。