[發明專利]液體材料填充裝置及方法

有效

• 申請號: 201480054619.9
• 申請日: 2014-10-03
• 公開（公告）號: CN105592937B
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 生島和正
• 申請（專利權）人: 武藏工業株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05D1/26;B05D3/00
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種液體材料填充裝置，其特征在于，

是具備氣密構造的腔室、對腔室內的壓力進行調節的壓力調節部、及控制裝置，且將液體材料填充至具有吐出口的吐出裝置的內部流路的液體材料填充裝置，

所述吐出裝置是包含液體貯存容器并且被搭載于處于所述腔室外的涂布裝置來使用的吐出裝置，該液體貯存容器具有與吐出口連通的出口及連接器，

所述壓力調節部具備負壓供給源、與腔室連通的腔室連通管、與所述液體貯存容器的連接器連通的吐出裝置連通管、將腔室連通管與將氣體供給至腔室的氣體供給口連通或者截斷的開閉閥A、將腔室連通管與吐出裝置連通管連通或者截斷的開閉閥B、將吐出裝置連通管與將氣體供給至液體貯存容器的氣體供給口連通或者截斷的開閉閥C、及壓力計，

所述控制裝置具備：

減壓單元，其將負壓供給源與腔室連通管及吐出裝置連通管連通而將腔室內及處于貯存容器內的上方的空間減壓至真空或者接近真空的低壓力；

脫氣單元，其將腔室內及處于貯存容器內的上方的空間維持為一定時間低壓力的狀態而對液體材料內的氣泡進行脫氣；

填充單元，其在將所述吐出裝置的吐出口向腔室內空間開放的狀態下將處于貯存容器內的上方的空間與將氣體供給至液體貯存容器的氣體供給口連通而使氣體流入，由此相較于腔室內作為高壓并將貯存容器內的液體材料填充至吐出裝置；

填充停止單元，其將處于貯存容器內的上方的空間與腔室內連通而作為壓力平衡狀態；及

壓力開放單元，其將腔室內及處于貯存容器內的上方的空間與將氣體供給至腔室的氣體供給口或將氣體供給至液體貯存容器的氣體供給口連通，

所述腔室具備能夠使所述吐出裝置出入的門。

2.如權利要求1所述的液體材料填充裝置，其特征在于，

進一步具備切換閥，該切換閥切換將腔室連通管與負壓供給源連通的第1位置、及將腔室連通管與將氣體供給至腔室的氣體供給口連通的第2位置，

所述控制裝置在所述減壓單元中將切換閥設為第1位置、及在所述壓力開放單元中將切換閥設為第2位置。

3.如權利要求2所述的液體材料填充裝置，其特征在于，

進一步具備設置于將腔室連通管與將氣體供給至腔室的氣體供給口連通的流路的第1流量控制閥、及設置于將吐出裝置連通管與將氣體供給至液體貯存容器的氣體供給口連通的流路的第2流量控制閥。

4.如權利要求3所述的液體材料填充裝置，其特征在于，

第1流量控制閥的最大流量被設定為第2流量控制閥的最大流量的3倍以上。

5.如權利要求1至4中任一項所述的液體材料填充裝置，其特征在于，

進一步具備檢測自所述吐出裝置的吐出口吐出的液體材料并將液體檢測信號發送至所述控制裝置的傳感器。

6.一種液體材料填充方法，其特征在于，

是將液體材料填充至設置于腔室的具有吐出口的吐出裝置的內部流路的方法，

所述吐出裝置是包含液體貯存容器并且被搭載于處于所述腔室外的涂布裝置來使用的吐出裝置，該液體貯存容器具有與吐出口連通的出口及連接有被供給負壓的管的連接器，

所述腔室具備能夠使所述吐出裝置出入的門，

所述液體材料填充方法具有：

減壓工序，其將腔室內及處于貯存容器內的上方的空間減壓至真空或者接近真空的低壓力；

脫氣工序，其將腔室內及處于貯存容器內的上方的空間維持為一定時間低壓力的狀態而對液體材料內的氣泡進行脫氣；

填充工序，其在將所述吐出裝置的吐出口向腔室內空間開放的狀態下將處于貯存容器內的上方的空間與將氣體供給至液體貯存容器的氣體供給口連通而使氣體流入，由此相較于腔室內作為高壓并將貯存容器內的液體材料填充至吐出裝置；

填充停止工序，其在檢測出液滴自吐出口流出之后，迅速地將處于貯存容器內的上方的空間與腔室內連通而作為壓力平衡狀態，并停止液體材料的填充；及

壓力開放工序，其將腔室內及處于貯存容器內的上方的空間與將氣體供給至腔室的氣體供給口或將氣體供給至液體貯存容器的氣體供給口連通而使氣體流入。