[發(fā)明專利]位置傳感器的制造方法及由此得到的位置傳感器

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201480051515.2
• 申請日: 2014-07-22
• 公開（公告）號: CN105556441A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 清水裕介;吉岡良真
• 申請（專利權(quán)）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: G06F3/041
• 分類號: G06F3/041;G06F3/042;G02B6/13
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種位置傳感器的制造方法，將圖案形成為格子狀部分和外周部分的 多個(gè)線狀的芯以被兩層的片狀的包層夾持著的狀態(tài)制作了片狀的光波導(dǎo)路， 之后，將光元件連接到所述外周部分中的芯的端面，所述外周部分從該格子 狀部分延伸設(shè)置并以沿著該格子狀部分的外周彎曲的狀態(tài)配置，其特征在 于，

所述光波導(dǎo)路的制作包括如下工序：形成第一包層的工序；在該第一包 層的表面形成芯形成用的第一感光性樹脂層的工序；對該芯形成用的第一感 光性樹脂層實(shí)施規(guī)定圖案的曝光，在與所述格子狀部分相對應(yīng)的區(qū)域中，將 利用所述曝光而固化的部分形成為光路用的芯，在與所述外周部分相對應(yīng)的 區(qū)域中，將利用所述曝光而固化的部分形成為光路用的芯及非光路用的虛擬 芯的工序；在所述曝光后，利用第二包層形成用的第二感光性樹脂層覆蓋由 所述芯形成用的第一感光性樹脂層的曝光部分構(gòu)成的芯及虛擬芯的表面、以 及未曝光部分的表面的工序；通過對所述第一感光性樹脂層及所述第二感光 性樹脂層進(jìn)行加熱，將所述芯形成用的第一感光性樹脂層的未曝光部分的樹 脂與第二包層形成用的第二感光性樹脂層的樹脂混合而形成混合層的工序；

以及，對所述混合層進(jìn)行曝光，使利用該曝光固化的混合層成為第三包 層的工序。

2.一種位置傳感器，其是通過權(quán)利要求1所述的位置傳感器的制造方法 獲得的，其特征在于，

在與以沿著芯的格子狀部分的外周彎曲了的狀態(tài)配置的外周部分相對 應(yīng)的區(qū)域中形成有非光路用的虛擬芯，與所述外周部分相對應(yīng)的區(qū)域中的光 路用的芯與該芯周邊的第三包層之間的折射率差大于與所述格子狀部分相 對應(yīng)的區(qū)域中的光路用的芯與該芯周邊的第三包層之間的折射率差。