[發(fā)明專利]電子顯微鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201480047309.4
• 申請日: 2014-05-16
• 公開（公告）號: CN105531793B
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松本弘昭;佐藤岳志;谷口佳史;原田研
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社日立高新技術(shù)
• 主分類號: H01J37/295
• 分類號: H01J37/295;G01N23/04;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/153;H01J37/24;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11243
• 代理人: 張敬強,嚴星鐵

1.一種電子顯微鏡，具有：

電子束的光源；

照射光學(xué)系統(tǒng)，其由用于將從上述光源發(fā)出的電子束照射到試樣的多個電子透鏡構(gòu)成；

能夠移動的照射光闌，其屬于變更朝向上述試樣的上述電子束的照射量的照射光學(xué)系統(tǒng)；

試樣保持裝置，其用于保持上述電子束照射的上述試樣；

成像透鏡系統(tǒng)，其由用于使上述試樣的像或上述試樣的衍射圖案成像的多個電子透鏡構(gòu)成；

觀察面，其觀察通過上述成像透鏡系統(tǒng)得到的上述試樣的像或上述試樣的衍射圖案；以及

記錄裝置，其用于記錄上述試樣的像或上述試樣的衍射圖案，

上述電子顯微鏡的特征在于，

具備能夠移動的第一光闌孔，該第一光闌孔用于使透過了上述試樣的電子束的一部分選擇透過屬于上述成像透鏡系統(tǒng)的電子透鏡中位于上述電子束的行進方向最上游的第一成像透鏡與上述試樣保持裝置之間，

具備用于使上述電子束向上述第一成像透鏡的上述電子束的行進方向下游側(cè)偏轉(zhuǎn)的偏轉(zhuǎn)裝置，

通過上述照射光學(xué)系統(tǒng)來使透過了上述試樣的電子束收斂于上述光闌孔，

通過上述偏轉(zhuǎn)裝置來修正隨著上述第一成像透鏡的焦距的變更而產(chǎn)生的上述電子束的軸偏移，

通過變更上述第一成像透鏡的焦距來觀察上述試樣的像和上述試樣的衍射圖案，

屬于上述照射光學(xué)系統(tǒng)的電子透鏡中承擔(dān)朝向上述試樣的上述電子束的照射區(qū)域的變更的電子透鏡的狀態(tài)通過該電子顯微鏡的操作者所進行的第一操作而被固定，并且，不管該電子顯微鏡的其他的操作如何，該電子透鏡的狀態(tài)持續(xù)至被上述第一操作或與上述第一操作不同的第二操作解除為止，

觀察上述試樣的像的上述第一成像透鏡的焦距和觀察上述試樣的衍射圖案的上述第一成像透鏡的焦距通過該電子顯微鏡的操作者所進行的與上述第一操作和第二操作不同的第三操作而被切換。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于，

在通過上述第三操作來切換上述試樣的像的觀察和上述試樣的衍射圖案的觀察時，分別記錄包括上述試樣的像的觀察所需要的上述偏轉(zhuǎn)裝置的上述成像透鏡系統(tǒng)的狀態(tài)和包括上述試樣衍射圖案的觀察所需要的上述偏轉(zhuǎn)裝置的上述成像透鏡系統(tǒng)的狀態(tài)，通過上述第三操作的切換，恢復(fù)到每一個觀察中的上次觀察的最后的狀態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于，

在通過上述第三操作來切換上述試樣的像的觀察和上述試樣的衍射圖案的觀察時，上述照射光闌不移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電子顯微鏡，其特征在于，

在使屬于上述成像透鏡系統(tǒng)的電子透鏡中上述第一成像透鏡以外的電子透鏡的任意一個的狀態(tài)變更時，上述第一成像透鏡的焦距不被變更。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項所述的電子顯微鏡，其特征在于，

在進行上述試樣的衍射圖案的觀察的狀態(tài)時，能夠通過操作旋鈕，來變更上述第一成像透鏡的焦距，其中，上述旋鈕以在該電子顯微鏡的操作面板上明記為FOCUS的方法，以調(diào)整試樣的像或者試樣的衍射圖案的焦點的意圖設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項所述的電子顯微鏡，其特征在于，

上述偏轉(zhuǎn)裝置能夠?qū)⑸鲜鲭娮邮蚺c上述電子顯微鏡的光軸垂直的平面上的正交的兩個方向偏轉(zhuǎn)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項所述的電子顯微鏡，其特征在于，

被構(gòu)成為上述第一成像透鏡的焦距的變更和通過上述偏轉(zhuǎn)裝置的上述電子束的軸偏移的修正連動。

8.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項所述的電子顯微鏡，其特征在于，

將形成上述試樣的像或上述試樣的衍射圖案的一部分或全部的電子束導(dǎo)入能量分析器，測量能量譜。

9.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項所述的電子顯微鏡，其特征在于，

將形成上述試樣的像或上述試樣的衍射圖案的一部分或全部的電子束導(dǎo)入能量分析器，得到能量分光后的試樣的像或衍射圖案。

10.根據(jù)權(quán)利要求1～4的任一項所述的電子顯微鏡，其特征在于，

在上述試樣保持裝置與上述第一光闌孔之間設(shè)置有用于限制入射至上述成像透鏡系統(tǒng)的電子束的能夠移動的第三光闌孔。