[發明專利]成膜掩模的制造方法有效
| 申請號： | 201480014059.4 | 申請日： | 2014-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN105051243B | 公開（公告）日： | 2017-06-23 |
| 發明（設計）人： | 齋藤雄二;工藤修二;小菅崇之;水村通伸 | 申請（專利權）人： | 株式會社V技術 |
| 主分類號： | C23C14/04 | 分類號： | C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京市隆安律師事務所11323 | 代理人： | 權鮮枝 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 成膜掩模 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種成膜掩模的制造方法，上述成膜掩模是將形成了多個開口圖案的掩模片張緊而固定于框狀的金屬框架上的結構，上述成膜掩模的制造方法的特征在于，進行如下步驟：
第1步驟，在被施加一定張力的合成纖維的網上，以使樹脂制膜與片狀的磁性金屬構件的一面緊密接觸的結構的掩模用構件的上述膜側為上述網側，粘接上述膜的周緣部，上述磁性金屬構件設有內含至少一個上述開口圖案的大小的多個貫通孔；
第2步驟，將與上述掩模用構件的內含上述多個貫通孔的大小的成膜有效區域對應的上述網的部分切除；
第3步驟，在上述掩模用構件的上述磁性金屬構件的周緣部從與上述網相反的一側接合、固定上述框架；
第4步驟，將上述網從上述掩模用構件除去；以及
第5步驟，向與上述磁性金屬構件的上述貫通孔內的上述開口圖案對應的上述膜的部分照射激光，形成上述開口圖案。
2.根據權利要求1所述的成膜掩模的制造方法，其特征在于，
利用點焊進行上述掩模片或者上述掩模用構件與上述框架的接合。
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