[發明專利]透明板狀體表面檢查用攝像系統

有效

• 申請號: 201480009296.1
• 申請日: 2014-02-12
• 公開（公告）號: CN105008854B
• 公開（公告）日: 2018-11-09
• 發明（設計）人: 木村友紀;金子靜則;有田祐介
• 申請（專利權）人: AGC株式會社
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B11/24;G01N21/896
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 高培培;車文

提供一種透明板狀體表面檢查用攝像系統，線路傳感器相機的光線路徑中心存在的平面與透明板狀體垂直且該平面與透明板狀體的搬運方向既未平行也未垂直的情況下，利用表側的面的反射光的路徑與背側的面的反射光的路徑取決于板厚而分離的現象，并能夠抑制用于在透明板狀體的背側設置水層的機構的個數的增加。光源(1)在玻璃板(71)未產生變形這樣的條件下，配置在從線路傳感器相機(2)朝向視野(5)的光線路徑由玻璃板(71)反射的延長方向上。光源(1)的條紋圖案的照射面的朝向以該照射面沿著玻璃板(71)的行進方向投影的結果成為線段的方式確定。而且，在該照射面上成為條紋圖案的暗部的線與玻璃板(71)的搬運方向平行。

技術領域

本發明涉及透明板狀體的表面形狀的檢查所用的、取得在光源攝像時因透明板狀體表面的反射而產生的光線路徑變化所形成的像的透明板狀體表面檢查用攝像系統。

背景技術

作為檢查玻璃板的表面的微小的變形的方法的一例，已知有如下的方法：使用線路傳感器相機(line sensor camera)，順著在玻璃板的表面處反射了的光線路徑而拍攝光源的條紋圖案(stripe pattern)，基于通過拍攝而得到的圖像數據來檢查玻璃板表面的變形的有無、變形的程度。此時，作為條紋圖案，經常使用的是作為暗部的線以一定間隔配置的圖案。需要說明的是，檢查對象的玻璃板在沿一定方向搬運的狀態下被照射條紋圖案。拍攝的結果得到的圖像中出現與條紋圖案的暗部對應的痕紋。需要說明的是，線路傳感器相機的各像素的大小相同且等間隔地排列。

圖9是表示光源與線路傳感器相機之間的一般的光的路徑的說明圖。將對玻璃板71進行支承的支承部72所存在的一側稱為背側，將其相反側稱為表側。圖9所示的實線表示在玻璃板71的表側的面處反射了的光的路徑。而且，圖9所示的虛線表示在玻璃板71的背側的面處反射了的光的路徑。需要說明的是，圖9所示的距離P取決于玻璃板71的板厚。

作為產生圖9所示的距離P的分離現象的光源和線路傳感器相機的配置形態，可考慮圖10所示的形態。圖10所示的箭頭表示玻璃板71的搬運方向。此時，在與玻璃板71的搬運方向垂直的平面內，包括從線路傳感器相機82延伸的光線路徑的起點、線路傳感器相機82的視野85、沿著光源81的矩形的照射面的長度方向的該照射面的中心線。

由此，圖10所示的配置形態對應于線路傳感器相機82的光線路徑中心存在的平面與玻璃板垂直且與玻璃板的搬運方向垂直的情況。

在此，相機的光軸是指通過相機的透鏡的中心且與其透鏡面垂直的垂線。并且，光線路徑中心是指如下的光線路徑：包括與線路傳感器相機的光軸一致的光線路徑和從與該光線路徑對應的玻璃板(假定為未產生變形)的反射點到光源為止的光線路徑。

圖10示出在與玻璃板71的搬運方向垂直的平面內，光源81向玻璃板71照射條紋圖案，線路傳感器相機82經由玻璃板71來拍攝光源81的形態。此時，在玻璃板的表側的面及背側的面上分別反射光，因此條紋圖案的1條暗部所對應的痕紋在圖像內出現2條。

圖11是表示通過攝像而得到的圖像的例子的示意圖。在圖11中，通過在表側的面處的反射而產生的痕紋如實線所示，通過在背側的面處的反射而產生的痕紋示意性地如虛線所示。這兩種痕紋彼此的距離記為分離距離D。在對應于這兩種痕紋的部位，亮度值變得極小。由表側的面處的反射產生的痕紋與由背側的面處的反射產生的痕紋的分離距離D成為取決于玻璃板的板厚的大小。

需要說明的是，例如，若通過表側的面處的反射產生的痕紋彼此的間隔一定，則能夠判斷為玻璃板未產生變形。而且，若該間隔不均，則基于該間隔，能夠評價玻璃板的變形的程度。