[發明專利]稀釋劑組合物及其用途有效
| 申請號： | 201480007310.4 | 申請日： | 2014-01-24 |
| 公開（公告）號： | CN104969129B | 公開（公告）日： | 2020-01-17 |
| 發明（設計）人： | 權五煥;尹錫壹;鄭宗鉉;金炳郁;趙泰杓;辛成健 | 申請（專利權）人： | 東進世美肯株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/42 | 分類號： | G03F7/42;G03F7/32;H01L21/027;G03F7/09 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和權律師事務所 | 代理人： | 朱健;陳國軍 |
| 地址： | 韓國仁*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 稀釋劑 組合 及其 用途 | ||
【權利要求書】：
1.一種稀釋劑組合物，由以下組分組成：
40至80wt％的1-甲氧基-2-丙醇醋酸酯；以及
20至60wt％的乙二醇丙基醚。
2.如權利要求1所述的稀釋劑組合物，其中該乙二醇丙基醚包括乙二醇單丙醚、乙二醇異丙醚或這些的混合物。
3.一種感光膜的形成方法，包含有下列步驟：
將權利要求1之稀釋劑組合物涂布于半導體基板上以預潤濕該基板；以及
將光阻劑涂布于該預潤濕的基板上。
4.一種感光膜的形成方法，包含有下列步驟：
將光阻劑涂布于半導體基板上；以及
將權利要求1之稀釋劑組合物施用于該基板上，以從該基板移除至少一部分的光阻劑。
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