[實用新型]一種PVD設備的維護工具

有效

• 申請號: 201420835443.8
• 申請日: 2014-12-25
• 公開（公告）號: CN204431075U
• 公開（公告）日: 2015-07-01
• 發明（設計）人: 馮電波;方廣志;王勇;莊春泉;楊春秀
• 申請（專利權）人: 江蘇武進漢能光伏有限公司
• 主分類號: B24D15/02
• 分類號: B24D15/02;A46B15/00
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司 11429
• 代理人: 徐琳淞

技術領域

本實用新型涉及一種PVD設備的維護工具。

背景技術

目前PVD(Physical?Vapor?Deposition，物理氣相沉積)設備進行PM(precision?maintenance，專業維護)時，經常要使用鋼刷和打磨砂紙，每次用大塊砂紙和鋼刷交替進行，造成砂紙的大量浪費，而且交替更換這兩種操作工具，操作比較麻煩且浪費時間，直接影響PM的時間，進而影響設備的稼動率，耽誤生產時間，浪費生產產能。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種能提高使用效率和減少浪費的PVD設備的維護工具。

實現本實用新型目的的技術方案是一種PVD設備的維護工具，包括相互連接的刷頭和刷柄；所述刷頭的一側面上設置刺刷；刷頭的另一側面上粘貼多層砂紙，位于最外層的砂紙的砂面朝外；在所述多層砂紙的外部設置保護蓋。

所述多層砂紙為多張由雙面膠相互粘接在一起的砂紙組成；每張砂紙的形狀大小與刷頭相匹配。

所述多層砂紙為一張折疊在一起的砂紙構成；砂紙折疊后的形狀大小與刷頭相匹配。

所述保護蓋與刷頭扣接，且側面設置砂紙出口。

采用了上述技術方案，本實用新型具有以下的有益效果：(1)本實用新型主要使用于鍍膜、半導體等設備日常維護，保養時清潔工作，結構簡單，容易制作，可以節省更換工具的時間，提高生產效率，進而提升生產線產能。

(2)本實用新型可以有效的提高砂紙的利用率，減少浪費。

(3)本實用新型由于使用砂紙打磨時有手柄握住，可以進一步提高使用效率。

附圖說明

為了使本實用新型的內容更容易被清楚地理解，下面根據具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中

圖1為本實用新型的結構示意圖。

附圖中標號為：

刷頭1、刷柄2、刺刷3、砂紙4。

具體實施方式

(實施例1)

見圖1，本實施例的一種PVD設備的維護工具，包括相互連接的刷頭1和刷柄2；刷頭1的一側面上設置刺刷3；刷頭1的另一側面上粘貼多層砂紙4，位于最外層的砂紙4的砂面朝外；在多層砂紙4的外部設置保護蓋。多層砂紙4為一張折疊在一起的砂紙4構成；砂紙4折疊后的形狀大小與刷頭1相匹配。保護蓋與刷頭1扣接，且側面設置砂紙出口。這樣當需要使用較大面積的砂紙時，砂紙4可以從保護蓋側面的砂紙出口拉出。當然多層砂紙4也可以為多張由雙面膠相互粘接在一起的砂紙4組成；每張砂紙4的形狀大小與刷頭1相匹配。

以上所述的具體實施例，對本實用新型的目的、技術方案和有益效果進行了進一步詳細說明，所應理解的是，以上所述僅為本實用新型的具體實施例而已，并不用于限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。