[實(shí)用新型]一種用于制備單光子探測(cè)器的自動(dòng)切片機(jī)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420826314.2 | 申請(qǐng)日: | 2014-12-23 |
| 公開(公告)號(hào): | CN204271114U | 公開(公告)日: | 2015-04-15 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 常相輝;韋強(qiáng);郭偉杰;劉想靚;韋聯(lián)福 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 西南交通大學(xué) |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司: | 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
| 地址: | 610031 四*** | 國(guó)省代碼: | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 用于 制備 光子 探測(cè)器 自動(dòng) 切片機(jī) | ||
1.一種用于制備單光子探測(cè)器的自動(dòng)切片機(jī),其特征在于:
包括用于安裝各組件的機(jī)架;
安裝在機(jī)架上的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、切片組件和識(shí)別組件,運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可在X軸方向和Y軸方向移動(dòng),切片組件和識(shí)別組件均位于運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上方,識(shí)別組件用于對(duì)固定在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的薄膜進(jìn)行對(duì)位,切片組件用于切割固定在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上的薄膜;
與運(yùn)動(dòng)平臺(tái)和識(shí)別組件相連的控制組件,控制組件用于接收識(shí)別組件的數(shù)據(jù)信號(hào)并控制運(yùn)動(dòng)平臺(tái)在X軸方向和Y軸方向的移動(dòng)。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
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