[實用新型]磁控濺射裝置

有效

• 申請號: 201420823348.6
• 申請日: 2014-12-22
• 公開（公告）號: CN204455277U
• 公開（公告）日: 2015-07-08
• 發明（設計）人: 徐少東
• 申請（專利權）人: 南昌歐菲光科技有限公司;深圳歐菲光科技股份有限公司;蘇州歐菲光科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/56
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 鄧云鵬

1.一種磁控濺射裝置，其特征在于，包括：

用于安裝柔性基材的鍍膜輥；以及

環繞所述鍍膜輥的鍍膜室，所述鍍膜室內設有多塊隔板，所述多塊隔板將所述鍍膜室劃分為多個鍍膜腔，每一鍍膜腔朝向所述鍍膜輥的腔壁為鍍板，所述鍍板上設有鍍膜孔；

其中，每一鍍膜腔內設有陰極靶、通氣管道及護罩，所述陰極靶與所述鍍膜輥正對設置，且所述陰極靶沿所述鍍膜輥的中心軸延伸，所述通氣管道位于所述陰極靶與一隔板之間，且所述通氣管道沿所述鍍膜輥的中心軸延伸，所述通氣管道靠近所述陰極靶的管壁為管板，所述護罩罩設于所述通氣管道上，且在所述鍍膜輥的中心軸方向上，所述護罩的長度大于所述通氣管道的長度，所述護罩位于所述通氣管道兩端之外的部分為延伸部，所述護罩靠近所述陰極靶的罩壁為罩板，所述罩板與所述管板之間形成氣流通道，所述管板上設有出氣孔，以使所述通氣管道與所述氣流通道連通，所述罩板上設有多個散氣孔，部分散氣孔位于兩個所述延伸部上。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，在所述鍍膜輥的中心軸方向上，所述護罩的長度小于或等于所述鍍膜孔的開口寬度。

3.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述多個散氣孔沿所述鍍膜輥的中心軸方向排列成一排，相鄰兩個散氣孔之間的間距相等。

4.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述多個散氣孔沿所述鍍膜輥的中心軸方向排列成多排，每一排散氣孔包括若干散氣孔，每一排散氣孔中的部分散氣孔位于所述兩個延伸部，每一排散氣孔中的相鄰兩個散氣孔之間的間距相等，相鄰兩排排散氣孔中的相鄰兩個散氣孔之間的間距相等。

5.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述散氣孔呈圓形或方形。

6.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述出氣孔的數目為多個，所述多個出氣孔沿所述鍍膜輥的中心軸方向排列成一排，相鄰兩個出氣孔之間的間距相等。

7.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述護罩包括頂板及設于所述頂板相對的兩側的側板，所述頂板即為所述罩板；

所述通氣管道朝向所述鍍板的管壁為第一板，所述通氣管道與所述第一板相對的管壁為第二板，所述兩側板分別與所述第一板及所述第二板間隔。

8.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述罩板與所述隔板可拆卸連接。

9.根據權利要求8所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述護罩包括頂板及設于所述頂板相對的兩側的側板，所述頂板即為所述罩板；

還包括螺釘或螺栓，每一側板相對的兩端的端面上設有分別設有凸耳部，所述凸耳部遠離所述罩板的一側與所述側板遠離所述罩板的一側齊平，所述凸耳部及所述隔板上分別設有螺紋孔，所述螺釘或所述螺栓穿設于所述凸耳部及所述隔板上。

10.根據權利要求1所述的磁控濺射裝置，其特征在于，所述通氣管道包括多段支管道，所述多段支管道沿所述鍍膜輥的中心軸方向間隔排列，且每一支管道上開設有進氣口。