[實用新型]直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺

有效

• 申請號: 201420723980.3
• 申請日: 2014-11-26
• 公開（公告）號: CN204221489U
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發明（設計）人: 白有盾;楊志軍;陳新;王夢;高健;李涵雄;李成祥;王江龍;黃宇涵;劉浩文;余明峰;李振新;鐘裕導;劉偉光;楊海東;管貽生;陳新度
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B23Q5/28
• 分類號: B23Q5/28
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 韓國勝;胡彬

1.直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：包括X向基座、Y向基座和一體化平臺；

所述一體化平臺包括宏動外框架和微動平臺，所述微動平臺包括X向微平臺、X向彈片組、Y向微平臺、Y向彈片組和Y向微驅動，具有彈性的所述X向彈片組設置于所述X向微平臺的兩側，其一端連接于所述宏動外框架的內側壁，另一端連接于所述X向微平臺；具有彈性的所述Y向彈片組設置于所述Y向微平臺的兩側，其一端連接于所述X向微平臺的內側壁，另一端連接于所述Y向微平臺；所述X向彈片組和Y向彈片組相互垂直，用于放置工件的工作平臺剛性連接于所述Y向微平臺；

所述X向基座設置有X向導軌、X向滑塊和X向U型直線電機，所述X向滑塊可滑動于所述X向導軌，所述X向U型直線電機包括X向定子、宏動外框架動子、X向微動平臺動子和連接件，X向運動和X向微運動共用同一個所述X向定子；

所述宏動外框架固定安裝于所述X向滑塊，并通過所述連接件連接于所述宏動外框架動子，由所述宏動外框架動子、所述X向微動平臺動子和所述X向定子控制其滑動于所述X向導軌實現X向宏運動；

所述X向微平臺通過所述連接件與所述X向微動平臺動子聯接固定，并由所述X向微動平臺動子控制其在所述X向定子所在X向的微運動；

所述Y向微驅動包括Y向微驅動動子和Y向微驅動定子，所述Y向微驅動定子固定于所述X向微平臺，所述Y向微驅動動子連接所述Y向微平臺，所述Y向微平臺由所述Y向微驅動控制其在Y向的微運動；

所述Y向基座設置有Y向導軌、Y向滑塊和Y向U型直線電機，所述Y向滑塊可滑動于所述Y向導軌，所述X向基座的中部通過固定于所述Y向滑塊并由所述Y向U型直線電機控制其滑動于所述Y向導軌實現Y向宏運動。

2.根據權利要求1所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述宏動外框架動子設置有兩個，分別設置在所述宏動外框架的進給方向的兩端。

3.根據權利要求1所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述X向微平臺、所述X向彈片組、所述Y向微平臺、所述Y向彈片組、所述工作平臺和所述宏動外框架為一體式結構。

4.根據權利要求1所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述的X向彈片組和Y向彈片組中各自的彈片均為平行布置，且彈片的長度方向分別垂直于X向微平臺和Y向微平臺的進給方向。

5.根據權利要求1所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述宏動外框架在其與所述X向彈片組的相連接處設置有X向槽，使所述宏動外框架的內側形成較薄的可變形的X向微平臺彈性件。

6.根據權利要求5所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述宏動外框架設有調節X向微平臺彈性件變形度的X向頻率調節機構。

7.根據權利要求6所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述X向頻率調節機構為穿過所述X向槽的螺栓，其兩端分別連接于所述X向槽的兩側。

8.根據權利要求1所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述Y向微平臺在其內側轉角處設置有圓弧形內嵌式孔槽。

9.根據權利要求1所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：在所述X向微平臺和所述Y向微平臺的進給方向的端部分別設置有X向位移傳感器和Y向位移傳感器。

10.根據權利要求9所述的直線電機共定子多驅動宏微一體化高速精密運動二維平臺，其特征在于：所述X向位移傳感器或所述Y向位移傳感器為差動電容傳感器或光電傳感器，所述Y向微驅動為壓電陶瓷驅動器或音圈電機。