[實(shí)用新型]一種真空閘板閥及質(zhì)譜分析儀器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420713701.5
• 申請(qǐng)日: 2014-11-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204358139U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-05-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范增偉;郭冬發(fā);劉桂方;董晨;謝勝凱;譚靖
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 核工業(yè)北京地質(zhì)研究院
• 主分類號(hào): F16K3/02
• 分類號(hào): F16K3/02;H01J49/26
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11322
• 代理人: 魯兵

1.一種真空閘板閥，其特征在于：包括閥座以及安裝于閥座內(nèi)腔的閥芯；所述閥座設(shè)置有貫通的閥座通孔，所述閥芯設(shè)置有閥芯通孔，閥芯能夠在閥座內(nèi)腔直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)閥芯通孔與閥座通孔之間的連通與關(guān)閉；在所述閥座與閥芯之間設(shè)置有一密封環(huán)，該密封環(huán)同軸設(shè)置在所述閥座通孔的徑向外側(cè)；所述閥芯上設(shè)置有擠壓機(jī)構(gòu)，用于在閥芯通孔與閥座通孔之間關(guān)閉后使閥芯壓緊所述密封環(huán)。

2.如權(quán)利要求1所述的真空閘板閥，其特征在于：所述閥芯包括動(dòng)閥板以及與動(dòng)閥板疊放設(shè)置并可相對(duì)移動(dòng)的板狀滑座；所述擠壓機(jī)構(gòu)包括在所述滑座靠近動(dòng)閥板的側(cè)端面上設(shè)置的朝向動(dòng)閥板的圓滑凸起部，以及所述動(dòng)閥板靠近滑座的側(cè)端面上設(shè)置的與所述凸起部相對(duì)應(yīng)的凹陷部；所述密封環(huán)靠近所述動(dòng)閥板遠(yuǎn)離滑座的側(cè)端面。

3.如權(quán)利要求2所述的真空閘板閥，其特征在于：所述滑座上設(shè)置有滾子安裝孔以及安裝于滾子安裝孔內(nèi)的圓柱體或球體的滾子，該滾子凸出于所述滑座靠近動(dòng)閥板的側(cè)端面，其凸出的部分為所述凸起部。

4.如權(quán)利要求3所述的真空閘板閥，其特征在于：所述滑座遠(yuǎn)離動(dòng)閥板的側(cè)端面與位于所述閥座內(nèi)腔的內(nèi)壁上的滾子軌面相靠近，所述滾子凸出于所述滑座遠(yuǎn)離動(dòng)閥板的側(cè)端面，并且頂在所述滾子軌面上。

5.如權(quán)利要求2所述的真空閘板閥，其特征在于：所述動(dòng)閥板在壓緊所述密封環(huán)時(shí)其頂端面頂在所述閥座的內(nèi)腔的內(nèi)壁上，該頂端面靠近密封環(huán)的一側(cè)沿密封環(huán)徑向向外傾斜；所述閥座的內(nèi)腔的內(nèi)壁上設(shè)置有與該頂端面相配合的傾斜面。

6.如權(quán)利要求2所述的真空閘板閥，其特征在于：所述閥芯上設(shè)置有回復(fù)機(jī)構(gòu)，用于在閥芯通孔與閥座通孔之間連通之前使閥芯松開(kāi)所述密封環(huán)。

7.如權(quán)利要求6所述的真空閘板閥，其特征在于：所述回復(fù)機(jī)構(gòu)包括連接動(dòng)閥板和滑座的彈性構(gòu)件。

8.如權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的真空閘板閥，其特征在于：所述閥座包括相互扣合的固定板以及具有凹陷腔體的導(dǎo)向座，在所述固定板與所述導(dǎo)向座的扣合部設(shè)置有密封圈；所述閥座通孔穿過(guò)所述固定板和所述導(dǎo)向座。

9.一種質(zhì)譜分析儀器，包括離子源腔以及與其相連通的分析室，其特征在于：在所述離子源腔與分析室的連通通道上設(shè)置有如權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的真空閘板閥。