[實(shí)用新型]泡生法藍(lán)寶石自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備的數(shù)字式提拉裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420710467.0
• 申請(qǐng)日: 2014-11-24
• 公開（公告）號(hào): CN204237888U
• 公開（公告）日: 2015-04-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉瑜;胡軒;杜慧江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州晶一智能科技有限公司
• 主分類號(hào): C30B17/00
• 分類號(hào): C30B17/00;C30B29/20
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及泡生法藍(lán)寶石晶體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種泡生法藍(lán)寶石自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備的數(shù)字式提拉裝置，同時(shí)可適用于其他相似領(lǐng)域。

背景技術(shù)

由于藍(lán)寶石晶體的光學(xué)穿透帶很寬，從近紫外光(190nm)到中紅外線都具有很好的透光性，因此被大量用在光學(xué)元件、紅外裝置、高強(qiáng)度激光鏡片材料及掩模材料上。目前超高亮度白/藍(lán)光LED的品質(zhì)取決于氮化鎵外延（GaN）的材料品質(zhì)，而氮化鎵外延品質(zhì)則與所使用的藍(lán)寶石基板表面加工品質(zhì)息息相關(guān)，藍(lán)寶石（單晶Al₂O₃）C面Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉積薄膜之間的晶格常數(shù)失配率小，同時(shí)符合GaN?外延工藝中耐高溫的要求，使得藍(lán)寶石晶片成為制作白/藍(lán)/綠光LED的關(guān)鍵材料。

目前最成熟的生長(zhǎng)大尺寸低應(yīng)力無(wú)缺陷藍(lán)寶石晶體的技術(shù)仍然還是泡生法。但是泡生法生產(chǎn)藍(lán)寶石還沒有完全實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，在引晶過程中還需要依靠經(jīng)驗(yàn)豐富的引晶工程師進(jìn)行操作。這種工作方式不利于進(jìn)行大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)。因此我們提出自動(dòng)化的泡生法藍(lán)寶石生產(chǎn)方式，這種理念設(shè)計(jì)出來的自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備不需要長(zhǎng)晶工程師在長(zhǎng)晶過程中操作籽晶桿的旋轉(zhuǎn)和提拉，因此人工式的機(jī)械提拉機(jī)構(gòu)是多余的，但是考慮的多年積累下的操作習(xí)慣，需要留出一個(gè)人工操作接口。

發(fā)明內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明的主要目的在于提供一種泡生法藍(lán)寶石自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備的數(shù)字式提拉裝置，為人工操作自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長(zhǎng)晶設(shè)備的人工操作方式，而且省略了機(jī)械式的提拉結(jié)構(gòu)。

（二）技術(shù)方案

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種泡生法藍(lán)寶石自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備的數(shù)字式提拉裝置，設(shè)置提供動(dòng)力的電源系統(tǒng)，進(jìn)行集中控制的控制器，可以驅(qū)動(dòng)籽晶桿旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，可以驅(qū)動(dòng)所述的籽晶桿快速上下運(yùn)動(dòng)的快速提拉系統(tǒng)，可以驅(qū)動(dòng)所述的籽晶桿慢速上下運(yùn)動(dòng)的慢速提拉系統(tǒng)，所述的快速提拉系統(tǒng)和慢速提拉系統(tǒng)通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接，設(shè)置可以啟動(dòng)或者停止所述的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的晶轉(zhuǎn)按鍵，以及控制快速提拉系統(tǒng)的數(shù)字提拉按鍵，所述的晶轉(zhuǎn)按鍵和數(shù)字提拉按鍵與所述的控制器連接。

所述的晶轉(zhuǎn)按鍵設(shè)置自鎖裝置，可以保持?jǐn)嚅_和閉合兩種狀態(tài)。

所述的數(shù)字提拉按鍵設(shè)置向上1毫米提拉按鍵，向上2毫米提拉按鍵，向下1毫米提拉按鍵，向下2毫米提拉按鍵。

（三）有益效果

從上述技術(shù)方案可以看出，本專利具有以下有益效果：

1、???????????????????為人工操作自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備提供了方便的電子接口，按照提拉方向分別設(shè)置1毫米和2毫米提拉按鍵，可以精確控制提拉精度；

2、??????????????????結(jié)構(gòu)上進(jìn)行了簡(jiǎn)化，節(jié)省制造成本，也提升了系統(tǒng)可靠性。

附圖說明

圖1為自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備的外形示意圖；

圖2為本專利的外形示意圖；

圖3為本專利的控制結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體的實(shí)施實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步展開說明，但需要指出的是，本實(shí)用新型所要求保護(hù)的結(jié)構(gòu)并不限于實(shí)施例及說明書附圖中的具體結(jié)構(gòu)。對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以推知的其他結(jié)構(gòu)形式，亦屬于本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。

請(qǐng)參閱圖1、圖2，一種泡生法藍(lán)寶石自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備9的數(shù)字式提拉裝置，設(shè)置提供動(dòng)力的電源系統(tǒng)5，進(jìn)行集中控制的控制器4，所述的控制器4可設(shè)置為可編程控制器，也可以設(shè)置為工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。

還設(shè)置可以驅(qū)動(dòng)籽晶桿旋轉(zhuǎn)的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)8，以保證晶體生長(zhǎng)的均勻性，還包括驅(qū)動(dòng)所述的籽晶桿快速上下運(yùn)動(dòng)的快速提拉系統(tǒng)6，可以驅(qū)動(dòng)所述的籽晶桿慢速上下運(yùn)動(dòng)的慢速提拉系統(tǒng)7，所述的快速提拉系統(tǒng)6和慢速提拉系統(tǒng)7通過電磁離合器與所述的籽晶桿連接。所述的快速提拉系統(tǒng)6，慢速提拉系統(tǒng)7和晶轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)8分別由電機(jī)及電機(jī)驅(qū)動(dòng)器、減速機(jī)構(gòu)組成。

還設(shè)置可以啟動(dòng)或者停止所述的晶轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)8的晶轉(zhuǎn)按鍵2，所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2設(shè)置自鎖裝置，可以保持?jǐn)嚅_和閉合兩種狀態(tài)。還設(shè)置控制快速提拉系統(tǒng)6的數(shù)字提拉按鍵3。所述的數(shù)字提拉按鍵3設(shè)置設(shè)置向上1毫米提拉按鍵，向上2毫米提拉按鍵，向下1毫米提拉按鍵，向下2毫米提拉按鍵。所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2和數(shù)字提拉按鍵3與所述的控制器4連接。

還設(shè)置起容納和保護(hù)作用的殼體1，所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2和數(shù)字提拉按鍵3安裝在所述的殼體1上，以方便工作人員操作。

綜上所述，在實(shí)際使用過程中，通過所述的晶轉(zhuǎn)按鍵2可以啟動(dòng)或者停止所述的籽晶桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，根據(jù)提拉方向和提拉距離，選擇對(duì)應(yīng)的數(shù)字提拉按鍵3，可以控制所述的籽晶桿向上或者向下的精確運(yùn)動(dòng)。因此，該裝置為人工操作自動(dòng)長(zhǎng)晶設(shè)備提供了方便的電子接口，不僅保留了傳統(tǒng)長(zhǎng)晶設(shè)備的人工操作方式，而且省略了機(jī)械式的提拉結(jié)構(gòu)。