[實用新型]一種用于凈化磷化氫氣體的裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420695323.2 | 申請日： | 2014-11-19 |
| 公開（公告）號： | CN204247067U | 公開（公告）日： | 2015-04-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱元郴;沈桃云;劉師偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖南華望熏蒸消毒有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/81 | 分類號： | B01D53/81;B01D53/46 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 410215*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 凈化 磷化氫 氣體 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于凈化磷化氫氣體的裝置，其特征在于，包括凈化罐，進氣管，出氣管，電磁閥，磷化氫傳感器和濾盒；所述凈化罐的底部設(shè)有進氣管；所述進氣管的末端設(shè)有氣體均布器；所述凈化罐的頂部設(shè)有出氣管；所述進氣管和出氣管上設(shè)有電磁閥；所述電磁閥與PLC控制器電連接；所述出氣管下方設(shè)有磷化氫傳感器；所述磷化氫傳感器與PLC控制器連接；所述濾盒放置在凈化罐內(nèi)；所述濾盒內(nèi)填充用于凈化磷化氫氣體的固體處理劑。
2.?如權(quán)利要求1所述用于凈化磷化氫氣體的裝置，其特征在于，所述固體處理劑包括吸收劑和吸附劑；所述吸收劑附著在吸附劑的外表層。
3.如權(quán)利要求1或2所述用于凈化磷化氫氣體的裝置，其特征在于，所述處理劑呈蜂窩型、五面體、六面體或八面體。
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