[實用新型]一種勻膠機

有效

• 申請號: 201420683426.7
• 申請日: 2014-11-14
• 公開（公告）號: CN204247481U
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 戴明志;葉繼春
• 申請（專利權）人: 中國科學院寧波材料技術與工程研究所
• 主分類號: B05C11/02
• 分類號: B05C11/02;B05C9/14;B05C11/00
• 代理公司: 北京東方匯眾知識產權代理事務所(普通合伙) 11296
• 代理人: 張淑賢

技術領域

本實用新型涉及勻膠機，具體涉及一種旋涂、加熱一體化的勻膠機。

背景技術

勻膠機是一種利用旋轉產生的離心力原理，將膠液均勻甩開，平鋪到材料表面的機械裝置，其應用于各類對于材料表面涂覆的均勻性有嚴格要求的實驗或者制造領域，例如半導體材料研發和制備工藝，生物材料物性分析，化工材料薄膜的制備工藝等等。

目前，現有技術中的勻膠機，一般是沒有加熱裝置的，其在使用時采用先旋涂，后加熱蒸發溶劑的工序。具體地，是將經由勻膠機作用過后的載片迅速地放置到一個制模加熱板上進行加熱，使覆蓋在載片上的薄膜進行初步的蒸發溶劑，以便薄膜固化。其中對載片的加熱時間可以是幾秒鐘或幾分鐘，而部分材料的薄膜其則需烘烤幾個小時，甚至需要一個晚上，最后將涂覆有薄膜的載片放置烤箱或真空爐內，在其內進行充分烘烤，使得載片薄膜上余下的溶劑蒸發掉，這不便于人們的使用。

實用新型內容

有鑒如此，本實用新型的目的是提供一種用于解決上述技術問題的勻膠機。

一種勻膠機，包括主體機、載片臺及用于容置載片臺的限位框，所述載片臺設于主體機的中間位置處，并與主體機內的驅動電機連接，用于驅動載片臺進行旋轉；其特征在于：該勻膠機進一步包括加熱機構，其主要由感應線圈組成，其中所述感應線圈固定在載片臺上，并與主體機電性連接，用于對置于載片臺上的載片進行加熱。

優選地，所述感應線圈設置在該載片臺內，并與載片分居在載片臺中用于固定載片的側壁兩側。

優選地，所述感應線圈嵌設在該載片臺中用于容置載片的側壁上。

優選地，該勻膠機進一步包括一溫度控制器，其串聯于所述感應線圈，用于對感應線圈工作時的溫度進行控制

優選地，所述驅動電機為無刷伺服電機。

優選地，該勻膠機進一步包括排風系統和抽氣系統，其設于主體機內，并置于載片臺的底部，

優選地，該勻膠機進一步包括密封蓋，其由丙烯酸材質制備而成。

優選地，所述限位框由不銹鋼材質制備。

一種勻膠機，包括主體機，載片臺及用于容置載片臺的限位框，所述載片臺設于主體機的中間位置處，并與主體機內的驅動電機連接，用于驅動載片臺進行旋轉；該勻膠機進一步包括加熱機構，其主要由感應線圈組成，其中所述感應線圈纏繞于所述載片臺中用于固定載片的側壁，并與主體機電性連接，用于對置于載片臺上的載片進行加熱。

優選地，該勻膠機進一步包括一溫度控制器，其串聯于所述感應線圈，用于對感應線圈工作時的溫度進行控制。

由于上述技術方案的運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：

本實用新型所提供的勻膠機，通過在該勻膠機內設置一加熱機構，使得該勻膠機在使用時對置于載片上的膠液進行均勻甩開的同時，可通過加熱機構進行直接加熱，用于蒸發掉膠液中的溶劑；這相比原有的勻膠機，其省卻了在對旋涂過后的載片進行額外加熱的加熱裝置，這便于了人們的使用。

附圖說明

圖1是本實用新型較佳實施例所提供勻膠機的示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型的目的、技術方案和優點更加清楚明了，下面結合具體實施方式并參照附圖，對本實用新型進一步詳細說明。應該理解，這些描述只是示例性的，而并非要限制本實用新型的范圍。此外，在以下說明中，省略了對公知結構和技術的描述，以避免不必要地混淆本實用新型的概念。

請參閱圖1，本實用新型較佳實施例所提供的勻膠機100，包括主體機10、載片臺20及加熱機構40。

所述主體機10為該勻膠機100的核心部件，起到提供載片臺20旋動動力的作用。

所述載片臺20是用于緊固載片(圖未示)，所述載片臺20設置在主體機10內并主體機10內的驅動電機11相連接，并且所述載片臺20從主體機10外露出來以方便載片臺20緊固載片。在本實施例中，載片臺20的頂部例如可以從主體機10的頂部凸伸出來，以使載片臺20外露出所述主體機10。所述主體機10的頂部凸伸出來。在本實施例中，載片臺20例如可以通過轉軸(圖未示出)與驅動電機11連接，驅動電機11轉動帶動轉軸轉動，進而帶動載片臺20轉動，從而使載片跟隨著載片臺20在主體機10內驅動電機11的驅動下進行旋轉，而位于載片上的膠液在旋轉所產生離心力的作用下，將膠液均勻甩開，使其平鋪到載片的表面，進而完成了該勻膠機100的旋涂作用。