[實(shí)用新型]智能真空器件在線(xiàn)監(jiān)測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420667152.2
• 申請(qǐng)日: 2014-11-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN204188331U
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張立云;胡斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山國(guó)力真空電器有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): G01L21/00
• 代理公司: 昆山四方專(zhuān)利事務(wù)所 32212
• 代理人: 盛建德;張文婷

1.一種智能真空器件在線(xiàn)監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：包括設(shè)于真空密封腔體(1)上并且一端與該真空密封腔體內(nèi)部連通的連接管(2)，以及與該連接管另一端連通的波紋管(3)，該波紋管遠(yuǎn)離該連接管的另一端上固定一光感應(yīng)裝置(4)，另設(shè)有光發(fā)射裝置(5)和光接收裝置(6)，該光發(fā)射裝置發(fā)射光信號(hào)連續(xù)監(jiān)測(cè)該光感應(yīng)裝置的位置并將其傳輸給光接收裝置，該光接收裝置將接收的光信號(hào)通過(guò)光纜傳輸給中央處理器。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的智能真空器件在線(xiàn)監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：所述光感應(yīng)裝置為光柵。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的智能真空器件在線(xiàn)監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：所述光發(fā)射裝置和光接收裝置分別設(shè)置于該光柵的相對(duì)兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的智能真空器件在線(xiàn)監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：所述連接管為金屬管。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的智能真空器件在線(xiàn)監(jiān)測(cè)裝置，其特征在于：還設(shè)有指示器，所述真空密封腔體內(nèi)的真空度降低至使用下限時(shí)，該指示器發(fā)出報(bào)警信號(hào)。