[實(shí)用新型]一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420651457.4
• 申請(qǐng)日: 2014-11-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN205115604U
• 公開(kāi)（公告）日: 2016-03-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹有根;零上銳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臨安振有電子有限公司
• 主分類號(hào): C23F1/00
• 分類號(hào): C23F1/00;B01F15/02
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，包括一個(gè)蝕刻液配制槽，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽以及兩個(gè)預(yù)分散槽，其特征在于，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于蝕刻液配制槽；添加劑1貯槽、添加劑2貯槽與預(yù)分散槽之間通過(guò)管道、閥門連接，添加劑1貯槽、添加劑2貯槽的位置高于配液槽，所述預(yù)分散槽中安裝有超聲波發(fā)生器及溫度傳感器。

2.如權(quán)利要求1所述的一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，其特征在于，所述預(yù)分散槽與配液槽之間通過(guò)管道連接，其中安裝有泵、閥門、流量計(jì)，流量計(jì)通過(guò)數(shù)據(jù)線與電腦相連。

3.如權(quán)利要求1所述的一種HDI板銅箔蝕刻液的精確配制裝置，其特征在于，所述各個(gè)藥劑對(duì)應(yīng)的流量計(jì)都通過(guò)不同的數(shù)據(jù)線與同一臺(tái)電腦相連。