[實用新型]真空設備

有效

• 申請號: 201420646186.3
• 申請日: 2014-10-30
• 公開（公告）號: CN204186263U
• 公開（公告）日: 2015-03-04
• 發明（設計）人: 陳祥麟
• 申請（專利權）人: 昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司;昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: E06B7/16
• 分類號: E06B7/16;E06B3/70
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

技術領域

本實用新型涉及真空設備。

背景技術

在現代制造技術中，很多工藝都需要制造真空環境。真空設備就是用來維持一個相對密封的環境以提供一定真空度。傳統的真空設備一般包括真空腔體，其上設有開口。在開口處設有可開合的門蓋，門蓋面對開口的一側設有密封圈，對應所述密封圈的真空腔體上，環繞該開口的位置是經精密機械加工后的密封面，當門蓋蓋合在開口上時，密封圈貼合在密封面上，以形成良好的密封。

由于工藝或是設備需要，經常會打開門蓋對真空腔體內部進行清潔、更換部件、維護保養等動作。當門蓋打開后，真空腔體開口處的密封面就會外露，由于人為因素，該密封面可能會被劃傷或損壞，此時整個真空設備就不能維持良好的真空環境。真空腔體需要被拆卸下來送修，真空設備就不能繼續使用，對工藝進程影響較大。

實用新型內容

基于此，有必要提供一種在密封面劃傷需要送修時，可以避免真空腔體被拆卸的真空設備。

一種真空設備，包括真空腔體和門蓋，所述真空腔體設有開口，所述門蓋設于開口處，還包括設于所述開口處的可拆卸式密封件，所述密封件與真空腔體可拆卸式連接，所述密封件與門蓋相對的一面設有光滑的密封面，所述門蓋上設有與所述密封面對應設置的密封部。

在其中一個實施例中，所述真空腔體包括腔室部和自腔室部設有開口的一側面向外延伸的開口部，所述開口部與腔室部連通，且開口部的開口尺寸小于腔室部的側面尺寸，所述密封件套接在所述開口部外側并與腔室部外側密封連接。

在其中一個實施例中，所述腔室部上、環繞開口部的位置設有螺紋沉孔；相應地，所述密封件上的也設有螺紋沉孔，所述密封件和腔室部通過螺釘固定連接。

在其中一個實施例中，所述開口部為矩形。

在其中一個實施例中，所述密封件內側壁環設向內凸起的抵擋部，所述開口部的開口外緣與所述抵擋部抵接以密封。

在其中一個實施例中，所述密封件為剛性結構，所述開口部為彈性結構。

在其中一個實施例中，所述門蓋與真空腔體轉動連接。

在其中一個實施例中，所述門蓋與密封件轉動連接。

在其中一個實施例中，所述密封部為密封圈。

上述真空設備，當對真空腔體內部進行維護時，若不小心劃傷密封件的密封面，則可將密封件從真空腔體上拆卸下來進行維修，同時也可以換上備用的密封件。這樣，該真空設備仍然可以繼續使用，對工藝的影響非常小。

附圖說明

圖1為一實施例的真空設備結構示意圖；

圖2為圖1中的真空腔體的放大圖；

圖3為圖1中的密封件的放大圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例進行進一步說明。

如圖1所示，為一實施例的真空設備結構示意圖。該真空設備10包括真空腔體100、門蓋200和密封件300。真空腔體100設有開口102，開口102處設有可拆卸式密封件300，即密封件300與真空腔體100可拆卸式連接。密封件300與門蓋200相對的一面設有光滑的密封面302。門蓋200與密封件300相對的一面設有密封部，與密封面302對應設置。本實施例中該密封部為密封圈202。在其他實施例中，該密封部還可以是密封墊等其他可以輔助密封、加強密封效果的部件。當門蓋蓋在密封件300上時，密封圈202與密封面302緊密貼合形成密封。

當對真空腔體100內部進行維護時，若不小心劃傷密封件200的密封面302，則可將密封件從真空腔體100上拆卸下來進行維修，同時也可以換上備用的密封件200。這樣，該真空設備10仍然可以繼續使用，對工藝的影響非常小。

圖2是圖1中的真空腔體的放大圖。參考圖2，真空腔體100包括腔室部110和開口部120。其中開口部120自腔室部110設有開口的一側面向外延伸形成。開口部120與腔室部110連通，且開口部120的開口尺寸小于其所在的腔室部110的側面尺寸。本實施例中，真空腔體100為立方體結構，開口部120相應的為矩形框結構。也即開口為矩形開口。由于開口部120的開口尺寸小于其所在的腔室部110的側面尺寸，腔室部110的側面外部留有環繞開口部120外側的區域112。在該區域112中設有螺紋沉孔114。